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本实用新型涉及静电检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置；包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。

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