一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管；该单晶硅片切割机砂浆过滤装置通过双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量，不会影响切割时的加工质量，值得大力推广。

A Mortar Filtration Device for Single Crystal Silicon Wafer Cutting Machine

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置
本技术涉及单晶硅片加工
，尤其是一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置。
技术介绍
硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点。是目前采用最广泛的硅片切割技术；在切割过程中，切割硅片产生的硅粉颗粒会夹杂在切割液内形成砂浆，为求降低生产成本，可以将砂浆过滤后的清液回收使用，现有技术中仅是通过滤网过滤回收，过滤不干净，回收利用时对于产品加工质量影响较大。
技术实现思路
本技术旨在提供一种过滤干净的单晶硅片切割机砂浆过滤装置。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片，由上至下均匀分布；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。作为本技术的进一步方案：所述多孔板、过滤筒和过滤网的中心均设有与主轴间隙配合的通孔。作为本技术的进一步方案：所述主轴的底端设有轴座，主轴与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体内壁。作为本技术的进一步方案：所述过滤筒的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网的目数。作为本技术的进一步方案：所述夹套的冷水管连接冷水机的出水口，排水管连接冷水机的回水口。作为本技术的进一步方案：所述筒体的底部设有反冲进口，过滤网上方一侧的筒体上设有第一反冲出口，过滤筒的底部一侧的筒体上设有第二反冲出口，第二反冲出口延伸到过滤筒的内部，反冲进口连接供水管，第一反冲出口和第一反冲出口均连接排水管。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该单晶硅片切割机砂浆过滤装置通过双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量，不会影响切割时的加工质量，同时能够起到降温效果，避免切割液温度较高的问题，同时设计反冲洗功能，设备使用寿命长，值得大力推广。附图说明图1为实施例一中本技术的结构示意图；图2为实施例一中本技术的过滤网的结构示意图；图3为实施例二中本技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一请参阅图1-2，本技术实施例中，一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体1，所述筒体1的内部设有过滤筒2和过滤网3，过滤筒2设于筒体1的上部，过滤筒2与筒体1之间设有间隙，过滤筒2的顶部固连多孔板4，多孔板4固连筒体1，过滤筒2的下方设有过滤网3，过滤网3固连筒体1；筒体1的顶部设有顶盖5，顶盖5的顶部设有电机6，电机6的输出轴通过联轴器连接筒体1中心的主轴7，主轴7贯穿多孔板4、过滤筒2和过滤网3，主轴7上设有数个搅拌叶片8，由上至下均匀分布；顶盖5上设有砂浆进口，筒体1的底部设有抛光液出口。筒体1的上部外部设有夹套9，夹套9的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。进一步，多孔板4、过滤筒2和过滤网3的中心均设有与主轴7间隙配合的通孔。进一步，主轴7的底端设有轴座，主轴7与轴座之间通过轴承连接，轴座通过连杆连接筒体1内壁，通过轴座支撑主轴7底端，也可直接延伸主轴7到筒体1底部，并通过轴承连接，利用筒体1作为支撑。进一步，过滤筒2的材料为滤网，该滤网的目数小于过滤网3的目数。进一步，夹套9的冷水管连接冷水机的出水口，排水管连接冷水机的回水口。本技术的结构特点及其工作原理：砂浆从顶部进入筒体1，经由多孔板4进入过滤筒2，多孔板4限制砂浆流量使其滞留，滞留的同时通过夹套9吸收热量降温，然后再进入过滤筒2过滤，过滤筒2初步过滤后再向下经过过滤网3过滤，再通过抛光液出口排出清液，整个过程中电机6带动主轴7转动带动搅拌叶搅拌，起到提高换热效率、避免杂物附着滤网表面从而提高过滤效率的效果。实施例二请参阅图3，与实施例一不同的是，在筒体1的底部设有反冲进口21，过滤网3上方一侧的筒体1上设有第一反冲出口22，过滤筒2的底部一侧的筒体1上设有第二反冲出口23，第二反冲出口23延伸到过滤筒2的内部，反冲进口21连接供水管，第一反冲出口22和第一反冲出口22均连接排水管。停止进入浆液后通过进口供水对筒体1内供水，然后再通过搅拌使附着于滤网上的杂物冲洗下来，分别通过两个反冲出口排出含有杂物的污水，能够对滤网进行冲洗，延长设备使用寿命，降低使用成本。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，其特征在于，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片，由上至下均匀分布；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，包括筒体，其特征在于，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴通过联轴器连接筒体中心的主轴，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，主轴上设有数个搅拌叶片，由上至下均匀分布；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口；筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供管，排水口连接排水管。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割机砂浆过滤装置，其特征在于，所述多孔板、过滤筒和过滤网的中心均设有与主轴间隙配合的通孔。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33