【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及流体泵领域,属于高速旋转机械真空泵。现有的涡轮分子泵大都采用靠近入口侧几级的抽气级为长叶片,靠近出口侧几级的压缩级为短叶片的结构。原理上要求涡轮叶片应该从入口端到出口端连续地缩短叶片长度,但从工艺角度看,这种要求是不切实际的,因此现有的涡轮分子泵,如西德的莱伯黑拉斯公司制造的TURBOVAC-450和中国科学院科学仪器厂生产的FB-450型等涡轮分子泵,都是采用两种长度的涡轮叶片,前十级叶片长度L=37毫米,后二十九级叶片长度为L=19毫米。在这种涡轮分子泵的长叶片与短叶片的衔接处,有一部分气体被淤积在涡轮长叶片与短叶片的内侧平板面之间,造成气体返流,影响泵的抽气性能。本技术的目的在于避免已有技术的不足之处,提出一种合理衔接涡轮分子泵长短叶片的叶轮结构。本技术的目的可通过以下措施达到在涡轮短叶片上端面的内侧平板面上开有抽气沟槽,此叶轮结构用于涡轮分子泵中作为第一级短叶片与长叶片衔接,便可克服气体淤积的问题,提高现有涡轮分子泵的抽气效率。以下结合附图说明本技术的结构附图1是这种叶轮的二种结构。图中1为叶轮转轴,2为涡轮短叶片。涡轮短叶片可以沿经向均匀分布,如图1(a)所示,也可以沿抽气沟槽的方向分布,如图1(b)所示;图中3为开有一定深度的抽气沟槽,其作用是把原来淤积在长叶片与短叶片内侧之间的气体分子沿沟槽方向排到叶轮的外侧,然后由涡轮短叶片抽走。抽气沟槽槽壁的形线可采用本专利技术人在申请号为88104482.2的专利申请案中提出的双曲螺线或它的渐近线,这种形线的抽气沟槽不但具有分子拖动抽气作用,而且还具有分子传输的抽气功能。根据上述专利申请 ...
【技术保护点】
一种叶轮结构,叶轮的外侧圆周上是涡轮短叶片,其特征在于叶轮上端面的内侧平板面上开有均匀分布的抽气沟槽。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:屠基元,朱岳,王孝珍,
申请(专利权)人:中国科学院北京真空物理实验室,复旦大学,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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