【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及流体泵领域，属于高转速机械真空泵。现有盘式分子泵动叶轮有三种结构。参见附图1图中1为主轴，2为动叶轮，3为静叶轮，4为隔离环，图中虚线表示抽气方向。图1(a)为平板动叶轮，其运动表面的动量传递方向很难与抽气方向一致，因而限制了它的抽气性能的改善。图1(c)为开有抽气沟槽的动叶轮，虽然这种结构的动叶轮的抽气沟槽通过合理的匹配选择，可以使其运动表面的动量传递方向与抽气方向保持一致，但其动叶轮外侧是一个短圆柱面与隔离环内表面形成的气体分子的有效通气面积，也是产生气体分子返流的区域，同时因气体分子在盘式分子泵中的流向是径流、轴流交错改变的，当电机起动，抽气沟槽拖动气体分子产生径向流动至动叶轮外侧时没有任何传输机构将气体分子由径流改变为轴流，只有任其气体分子的流动压缩传递至下一级，因此也大大影响了盘式分子泵抽气性能的进一步改善。图1(b)为第三种动叶轮结构——涡轮短叶齿，此种结构具有较强的传输能力，其有效通气面积的返流也是极有限的，但不足之处是动叶轮内侧运动表面的动量传递方向难以与抽气方向一致，因而同样限制了盘式分子泵抽气性能的改进。本技术的目的是避免已有技术的...
【技术保护点】
一种用于盘式分子泵的抽气圆盘动叶轮结构，内侧圆盘面上开有均匀分布的抽气沟槽，其特征在于叶轮的外侧圆周上为涡轮短叶齿。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：王孝珍，朱岳，庞世瑾，
申请(专利权)人：中国科学院北京真空物理实验室，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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