磨针台驱动结构及全自动探针台制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体检测领域，针对影响检测作业效率的问题，提供了一种磨针台驱动结构该技术方案如下：包括滑动连接于磨针台上的联动件、驱动联动件滑动的联动驱动件；一种全自动探针台，包括外壳、探针、基座，基座上滑动连接有主支架，主支架上滑动连接有副支架，副支架沿竖直方向滑动连接有工作台，基座设有驱动主支架滑动的主驱动件，主支架上设有驱动副支架滑动的副驱动件，副支架上设有驱动工作台升降以使工作台与探针抵接或分离的竖直驱动件，副支架上沿竖直方向滑动连接有磨针台，磨针台设有磨针台驱动结构。无需拆卸探针以及人工打磨探针，使得探针的维护作业效率较高，进而使得检测作业的持续性得到保证，提高了检测作业的效果。

Driving structure of needle grinding table and automatic probe table

【技术实现步骤摘要】
磨针台驱动结构及全自动探针台
本技术涉及半导体检测领域，更具体地说，它涉及一种磨针台驱动结构及全自动探针台。
技术介绍
全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。全自动探针台检测时，通过探针分别与待检测的半导体元件的引脚连接以通电，进而检测半导体元件电路是否畅通，以挑选出不合格品。探针由于长期通电，表面容易氧化，在使用一端时间后需要进行打磨，以保证其测量精度。目前，通常采用拆卸探针并通过手工打磨的方式以对探针进行维护，但这种处理方式效率较低，严重影响检测作业的效率，因此，还有改善空间。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的第一目的在于提供一种磨针台驱动结构，具有检测效率高的优点。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种磨针台驱动结构，包括滑动连接于所述磨针台上的联动件，所述联动件与全自动探针台的工作台连接时跟随工作台运动以联动，还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。通过联动件与全自动探针台的工作台连接时跟随工作台运动，使得通过驱动全自动探针台的工作台运本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磨针台驱动结构，其特征是：包括滑动连接于所述磨针台(4)上的联动件，所述联动件与全自动探针台的工作台(3)连接时跟随工作台(3)运动以联动，还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。

【技术特征摘要】
1.一种磨针台驱动结构，其特征是：包括滑动连接于所述磨针台(4)上的联动件，所述联动件与全自动探针台的工作台(3)连接时跟随工作台(3)运动以联动，还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。2.一种全自动探针台，其特征是：包括外壳(1)，所述外壳(1)顶部设有探针(141)，所述外壳(1)内设有基座(2)，所述基座(2)上沿水平方向滑动连接有主支架(5)，所述主支架(5)上沿水平方向滑动连接有副支架(6)，所述副支架(6)的滑动方向与主支架(5)的滑动方向垂直，所述副支架(6)沿竖直方向滑动连接有工作台(3)，所述基座(2)设有驱动主支架(5)滑动的主驱动件(51)，所述主支架(5)上设有驱动副支架(6)滑动的副驱动件(61)，所述副支架(6)上设有驱动工作台(3)升降以使工作台(3)与探针(141)抵接或分离的竖直驱动件，所述副支架(6)上沿竖直方向滑动连接有磨针台(4)，还包括如权利要求1所述的磨针台驱动结构。3.根据权利要求2所述的全自动探针台，其特征是：所述工作台(3)固定连接有朝向磨针台(4)延伸的提升件，所述工作台(3)下降至最低处时，所述联动件所在高度高于提升...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦日文，雷迪，林生财，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44