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本实用新型涉及半导体检测领域,针对影响检测作业效率的问题,提供了一种磨针台驱动结构该技术方案如下:包括滑动连接于磨针台上的联动件、驱动联动件滑动的联动驱动件;一种全自动探针台,包括外壳、探针、基座,基座上滑动连接有主支架,主支架上滑动连接有...该专利属于深圳市矽电半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市矽电半导体设备有限公司授权不得商用。
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