【技术实现步骤摘要】
一种夹具
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种用以拆除半导体加工设备中制冷系统的气体喷射器的夹具。
技术介绍
气体喷射器是一种利用制冷系统自身的高压气体源做动力,不消耗任何额外的其他能源的动力装置,在半导体加工设备中已经有大量的实际应用。在制冷系统经过长时间工作后，必须定期进行拆除与更换，在进行拆除与更换气体喷射器时，通常情况下，技术人员采用手动方式拆除气体喷射器，但当遇到难以拆除气体喷射器的情况时，需用专用的拆除工具进行拆除，专用的拆除工具重达20千克，需通过一边施力推与另一边施力拔协同完成，并且在进行手动施力推或施力拔的时候，施力不均匀或者拆除的方向不符合要求容易损坏气体喷射器，进而给企业造成损失。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种旨在实现安全，省力地拆除气体喷射器夹具。具体技术方案如下：一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其中包括：一支架，所述支架具有一通孔，所述通孔套设于所述气体喷射器的外部，以使所述气体喷射器自所述通孔穿出并至少部分位于所述支架的上方；一升降装置，所述升降装置对应所述通孔连接于所述支架的上方；所述升降装...
【技术保护点】
1.一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其特征在于，包括：一支架，所述支架具有一通孔，所述通孔套设于所述气体喷射器的外部，以使所述气体喷射器自所述通孔穿出并至少部分位于所述支架的上方；一升降装置，所述升降装置对应所述通孔连接于所述支架的上方；所述升降装置包括：一连接件，所述连接件用于固定所述气体喷射器；一操作件，所述操作件连接所述连接件，并可操作地使所述连接件沿所述支架的垂直方向往复运动。
【技术特征摘要】
1.一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其特征在于，包括：一支架，所述支架具有一通孔，所述通孔套设于所述气体喷射器的外部，以使所述气体喷射器自所述通孔穿出并至少部分位于所述支架的上方；一升降装置，所述升降装置对应所述通孔连接于所述支架的上方；所述升降装置包括：一连接件，所述连接件用于固定所述气体喷射器；一操作件，所述操作件连接所述连接件，并可操作地使所述连接件沿所述支架的垂直方向往复运动。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支架至少包括三个支撑脚；所述支撑脚的高度大于所述底座的高度。3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述操作件包括：一支撑部，所述支撑部位于所述支架的上方且连接所述支架；一升降座，所述升降座架设于所述支撑部的顶部，所述升降座具有一螺纹孔；一螺杆，与所述螺纹孔形成螺纹副，并与所述连接件连接；一把手，固定于所述螺杆顶部。4.根据权利要求3所述的夹具，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫文帅，刘光淼，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。