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本实用新型提供一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其中包括：支架具有一通孔，通孔套设于气体喷射器的外部，以使气体喷射器自通孔穿出并至少部分位于支架的上方；升降装置对应通孔连接于支架的上方；升降装置包括：连接件用于固定气体喷射器；操作...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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