一种真空镀膜设备制造技术

一种真空镀膜设备，其包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。通过设置镀膜真空室的数量大于大气传输腔室的数量，使得同一大气传输腔室可输入不同真空镀膜腔室内的基板，由此提高了大气传输腔室的利用率，从而提高了镀膜设备的生产效率。

A Vacuum Coating Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备
本专利技术涉及镀膜
，具体涉及一种真空镀膜设备。
技术介绍
现有的连续式真空镀膜设备通常包括串联设置的一个真空室和一个大气室，物品从真空室的一侧进入进行镀膜，完成后从大气室的另一侧输出，通常一个真空室一次只能对一个物品进行镀膜，且物品在真空室内的镀膜制程的时间长于在大气室内过渡运行的时间，因此当前一个物品已经从大气室输出后，后一个物品仍在真空室内进行镀膜，大气室中始终存在一段没有任何物品进入的空白时间段，由此导致了大气室的利用率低，从而导致设备整体利用率低，生产效率较低，相应的生产成本较高。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的大气室利用率低、设备生产效率低的缺陷，从而提供一种真空镀膜设备。为此，本专利技术的技术方案如下：一种真空镀膜设备，其包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。进一步地，每个所述大气传输腔室对应设有至少两个真空镀膜腔室。进一步地，所述真空镀膜腔室包括多个间隔设置的真空环境不同的所述真空制程腔和/或所述大气传输腔室包括多个间隔设置的大气环境不同的所述大气腔。进一步地，所述真空镀膜腔室和/或所述大气传输腔室包括腔室门和真空阀，所述腔室门设于所述真空镀膜腔室和/或所述大气传输腔室的端部，所述真空阀连通所述真空制程腔和/或所述大气腔的内部和真空泵。进一步地，所述真空镀膜腔室可切换为所述大气传输腔室，和/或，所述大气传输腔室可切换为真空镀膜腔室。进一步地，所述真空镀膜腔室和所述大气传输腔室内均设有传输机构，所述传输机构包括设于所述腔室内的磁性导轨以及传送辊；进一步地，所述移动装置设于所述真空镀膜腔室和所述大气传输腔室的同侧端部；进一步地，所述真空镀膜腔室和所述大气传输腔室的两侧端部分别设置有所述移动装置；进一步地，所述移动装置的传输方向垂直于所述传输机构的传输方向；进一步地，还包括基板架，所述基板固定设于所述基板架上，所述基板架与所述磁性导轨磁性连接；所述基板架上设有与所述传送辊连接的传动轴。进一步地，所述移动装置包括移动组件和与其连接的固定组件，所述固定组件固定所述基板架，所述移动组件驱动所述固定组件移动。进一步地，所述固定组件包括机架和设于其上的固定辊，所述固定辊上设有允许所述传动轴卡入的凹槽；所述移动组件包括带轮传动件，所述机架与所述带轮传动件的传动带连接。进一步地，所述固定组件还包括与所述固定辊对应设置的锁紧气缸，所述锁紧气缸固设于所述机架上，所述锁紧气缸推动所述基板架以将所述传动轴固定锁紧在所述凹槽中。本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的真空镀膜设备，其包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。通过设置镀膜真空室的数量大于大气传输腔室的数量，使得同一大气传输腔室可输入不同真空镀膜腔室内的基板，由此提高了大气传输腔室的利用率，从而提高了镀膜设备的生产效率。2.本专利技术提供的真空镀膜设备，所述真空镀膜腔室可切换为所述大气传输腔室，和/或，所述大气传输腔室可切换为真空镀膜腔室。通过设置各个腔室的环境可切换，可使其满足不同的生产需求，根据相应的需求制定各个腔室的环境，可根据真空镀膜腔室与大气传输腔室的传输速度比选择设定真空镀膜腔室和大气传输腔室的数量，由此进一步提高了该镀膜设备的适用性和生产效率。3.本专利技术提供的真空镀膜设备，移动装置包括移动组件和与其连接的固定组件，固定组件固定基板架，移动组件驱动固定组件移动；固定组件包括机架和设于其上的固定辊，固定辊上设有允许传动轴卡入的凹槽；移动组件包括带轮传动件，机架与带轮传动件的传动带固定连接；固定组件还包括与固定辊对应设置的锁紧气缸，锁紧气缸固设于机架上，锁紧气缸推动基板架向固定辊移动以将传动轴固定锁紧在凹槽中。通过设置凹槽和锁紧气缸将基板架固定锁紧于移动组件上，并通过移动组件的移动实现基板架在各个腔室之间的移动，由此提高了设备的自动化，减少人工搬运，提高生产效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的真空镀膜设备的结构示意图；图2为图1所示的移动装置的侧视图；图3为本专利技术基板架的结构示意图；图4为本专利技术的真空镀膜腔室的结构示意图；图5为本专利技术的大气传输腔室的结构示意图。附图标记说明：1－大气腔；11－真空镀膜腔室；12－大气传输腔室；2－基板；3－移动装置；4－腔室间隔件；5－真空制程腔；6－基板架；61－传动轴；7－传送辊；8－磁性导轨；9－固定辊；91－凹槽；92－框型机架；10－移动组件。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例本专利技术记载了一种真空镀膜设备，如图1所示，其包括真空镀膜腔室11、大气传输腔室12和移动装置3，其中真空镀膜腔室11和大气传输腔室12并行设置，并行设置指并列平行设置，在真空镀膜腔室11和大气传输腔室12的两端分别设有移动装置3，移动装置3用于将基板2移动至真空镀膜腔室11的输入端或者大气传输腔室12的输入端，实现基板2的上下料或者在真空镀膜腔室11和大气传输腔室12之间的转移。本实施例中的真空镀膜腔室11的设置数量大于大气传输腔室12的设置数量；不同真空镀膜腔室11的基板2依次输出至大气传输腔室12，并经由大气传输腔室12对外输出。其中参见附图1本实施例中的真空镀膜设备设有一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：每个所述大气传输腔室对应设有至少两个真空镀膜腔室。3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜腔室包括多个间隔设置的真空环境不同的所述真空制程腔，和/或所述大气传输腔室包括多个间隔设置的大气环境不同的所述大气腔。4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜腔室和/或所述大气传输腔室包括腔室门和真空阀，所述腔室门设于所述真空镀膜腔室和/或所述大气传输腔室的端部，所述真空阀连通所述真空制程腔和/或所述大气腔和真空泵。5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜腔室可切换为所述大气传输腔室，和/或，所述大气传输腔室可切换为真空镀膜腔室。6.根据权利要求1－5任意一项所述的真空镀膜设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙启敬，孙剑，高裕弟，洪耀，朱松山，张民井，
申请(专利权)人：枣庄维信诺电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37