【技术实现步骤摘要】
半导体晶圆小型工件用的滤水机构
本技术涉及半导体生产设备
,尤其是指半导体晶圆小型工件用的滤水机构。
技术介绍
现有的半导体晶圆小型工件在清洗后直接放置收集框内,再将收集框放在震动器上,将水震落,这种方式滤水效果差,尤其是异型工件,无法达到要求的滤水效果。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种半导体晶圆小型工件用的结构合理、使用效果好的滤水机构。为实现上述目的,本技术所提供的技术方案为:半导体晶圆小型工件用的滤水机构,它包括有滤水机架、滤水导料板,滤水机架顶部安装有滤水进料斗,滤水机架内倾斜放置有滤水导料板,滤水导料板两端均设有吊环,吊环上铰接有吊环连杆,吊环连杆与滤水机架顶部铰接,滤水进料斗位于滤水导料板较高一端上方,滤水导料板较低一端的滤水机架上开有出料口;滤水导料板底部固定有向下凸起的撞击筋,撞击筋下方的滤水机架内安装有曲轴,曲轴由相应的电机带动旋转,曲轴上设有与撞击筋相配合的凸轮,滤水导料板两侧的滤水机架上安装有数量大于2的喷气管,喷气管由外部风机供风。所述的滤水导料板上方的滤水机架内安装有滤水拨料辊,滤水拨料辊表面设有拨料刺,拨料刺采用橡胶材料制成,安装后的滤水拨料辊与滤水导料板之间形成过料通道。所述的曲轴下方的滤水机架内倾斜安装有导水板。所述的滤水导料板较高一端端部向上折弯形成进料限位挡板。本技术在采用上述方案后,清洗后的半导体晶圆小型工件由滤水进料斗进入落在滤水导料板上,滤水导料板表面均匀分布有上下贯穿的滤水孔,曲轴旋转通过凸轮撞击撞击筋,从而使滤水导料板震动,使粘附在半导体晶圆小型工件表面的水震落,同时喷气管通过外部 ...
【技术保护点】
1.半导体晶圆小型工件用的滤水机构,它包括有滤水机架(1)、滤水导料板(3),其特征在于:滤水机架(1)顶部安装有滤水进料斗(2),滤水机架(1)内倾斜放置有滤水导料板(3),滤水导料板(3)两端均设有吊环,吊环上铰接有吊环连杆(4),吊环连杆(4)与滤水机架(1)顶部铰接,滤水进料斗(2)位于滤水导料板(3)较高一端上方,滤水导料板(3)较低一端的滤水机架(1)上开有出料口;滤水导料板(3)底部固定有向下凸起的撞击筋(6),撞击筋(6)下方的滤水机架(1)内安装有曲轴(7),曲轴(7)由相应的电机带动旋转,曲轴(7)上设有与撞击筋(6)相配合的凸轮(8),滤水导料板(3)两侧的滤水机架(1)上安装有数量大于2的喷气管(10),喷气管(10)由外部风机供风。
【技术特征摘要】
1.半导体晶圆小型工件用的滤水机构,它包括有滤水机架(1)、滤水导料板(3),其特征在于:滤水机架(1)顶部安装有滤水进料斗(2),滤水机架(1)内倾斜放置有滤水导料板(3),滤水导料板(3)两端均设有吊环,吊环上铰接有吊环连杆(4),吊环连杆(4)与滤水机架(1)顶部铰接,滤水进料斗(2)位于滤水导料板(3)较高一端上方,滤水导料板(3)较低一端的滤水机架(1)上开有出料口;滤水导料板(3)底部固定有向下凸起的撞击筋(6),撞击筋(6)下方的滤水机架(1)内安装有曲轴(7),曲轴(7)由相应的电机带动旋转,曲轴(7)上设有与撞击筋(6)相配合的凸轮(8),滤水导料板(3)两侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:童华宁,陈中凯,
申请(专利权)人:长兴云腾新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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