【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及管件加工相关，尤其是指一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺。
技术介绍
1、在半导体行业中，不锈钢管件被广泛应用于各种设备和系统中，如输送气体和液体的管道、真空系统和制程设备等。这些管件在半导体制造过程中发挥了重要的作用，为生产线的稳定运行提供了可靠的保障。随着半导体技术的不断进步和产业的发展，对于不锈钢管件的需求也在逐年增加。一方面，随着产量的增加，生产线对于各种设备和系统的需求也在增加；另一方面，随着技术的进步，对于更高品质、更耐腐蚀的不锈钢管件的需求也在增加。在全球范围内，半导体行业对于不锈钢管件的需求也在持续增长。这一趋势反映了半导体产业的快速发展和对于生产设备及材料的高品质需求。同时，各国政府和企业也在不断加大对于半导体产业的投入，这也为不锈钢管件市场提供了更广阔的发展空间。
2、现有的管件加工设备在生产半导体级不锈钢管件时，其加工过程复杂，不易控制，加工出来的产品比较粗糙，精度不够。
3、综上所述，目前需要一种能够提高产品精度的气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺
技术实现思路
1、本专利技术是为了克服现有技术中管件加工过程复杂，不易控制，加工出来的产品比较粗糙，精度不够的不足，提供了一种能够提高产品精度的气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，包括以下步骤：
4、步骤一，将金属原
5、步骤二，对管坯进行自动焊接和整形形成管件；
6、步骤三，将管件运送至cnc加工床上进行磨削加工，并在管件上铣削出需要的孔和槽；
7、步骤四，通过抛光设备对铣好的管件表面进行抛光，得到管件成品；
8、步骤五，使用三坐标测量仪对管件成品精度进行检测验收并出具检测报告。
9、本专利技术先通过压铸机对管坯进行热压成型，之后再对成型的管坯进行焊接和整形以初步形成管件，然后再通过cnc加工床在管件上加工出需要的孔和槽，并利用抛光设备对管件进行抛光以改善管件表面的粗糙度，最后再利用三坐标测量仪对管件成品进行精度检测，加工过程简单方便，容易控制，大大提高了管件的产品精度。
10、作为优选，步骤一中金属原料熔化后至注入模具中冷却成型前，熔融状态的金属原料与空气需始终处于相互隔绝的状态。以避免熔融状态的金属原料被氧化而影响其机械性能。
11、作为优选，步骤三中对管件上铣削出的孔、槽依次进行慢走丝粗加工、插磨加工和坐标磨加工。通过慢走丝粗加工、插磨加工和坐标磨加工依次对管件上的孔、槽进行加工，大大提高了管件上的孔和槽的精细度。
12、作为优选，所述管件成品的精度检测项目包括真圆度检测、同心度检测、同轴度检测和垂直度检测。全面的精度检测能够进一步保证管件成品的精度要求。
13、作为优选，所述抛光设备包括底座，所述底座的上方固定有导轨，所述导轨上安装有电动滑块，所述电动滑块和导轨左右滑动连接，所述电动滑块的底部安装有外抛光轮，所述外抛光轮和电动滑块转动连接，所述底座上固定有管件放置架，所述管件放置架上固定有固定轴，所述固定轴和导轨平行设置，所述固定轴置于导轨的下方且分别位于导轨的前后两侧，所述固定轴上套接有传动轮，所述底座上还设置有内抛光装置和管件限位装置，所述内抛光装置和管件限位装置分别位于管件放置架的左右两侧。加工时，管件放置在管件放置架上，由两侧的固定轴上的传动轮托住管件，之后通过侧面的管件限位装置对管件进行位置限定，以避免管件在抛光过程中发生位置偏移的情况，提高了加工精度，然后再通过上方的外抛光轮对管件的外表面进行抛光以及侧面的内抛光装置对管件的内表面进行抛光，通过外抛光轮和内抛光装置的共同配合，可同时对管件的内外表面进行抛光操作，提高了工作效率。
14、作为优选，所述内抛光装置包括固定竖板一，所述固定竖板一置于管件放置架的侧面且其上固定有气缸一，所述气缸一的活塞杆上固定有电机座，所述电机座的转轴上固定有连接块，所述连接块上安装有内抛光轮，所述内抛光轮和连接块可拆卸连接。电机座用于带动内抛光轮进行转动，气缸一用于带动转动的内抛光轮进行左右移动，从而对管件的内表面进行抛光操作。通过内抛光轮和连接块可拆卸设计，便于对内抛光轮进行拆卸更换和维护维修。
15、作为优选，所述连接块上设有连接槽，所述连接槽的内壁上设有若干个螺纹孔一，所述内抛光轮上设有与连接槽相匹配的连接柱，所述连接柱和连接槽插接，所述连接柱的侧壁上设有与螺纹孔一相匹配相匹配的螺纹孔二。螺纹连接方式简单易操作，稳定性好，连接强度高，同时方便安装和拆卸，降低了后期维护和维修的困难性。
16、作为优选，所述管件限位装置包括固定竖板二，所述固定竖板二置于管件放置架的侧面且其上固定有气缸二，所述气缸二的活塞杆上固定有固定块，所述固定块上设有管件限位辊，所述管件限位辊和固定块转动连接，所述管件限位辊上设有若干个顶块滑槽，所述顶块滑槽呈环形分布在管件限位辊的外侧壁上，所述顶块滑槽内滑动连接有顶块，所述顶块和顶块滑槽的底面之间通过复位弹簧相连接，所述顶块滑槽的底部还设置有顶出组件。限位时，管件限位辊在气缸二的控制下插入管件中，之后通过顶出组件自动将顶块滑槽内的顶块向外推出，从四周将管件顶住固定，起到固定管件的作用，固定效果好。在取下管件时，复位弹簧则起到顶块的自动缩回作用，以便管件限位辊能够顺利从管件中抽出。
17、作为优选，所述管件限位辊的内部设有环形腔，所述环形腔的中心线和管件限位辊的中心线相重合，所述顶块滑槽置于环形腔的外侧壁上且两者相连通，所述顶出组件包括置于环形腔内的内滑套和外推环，所述内滑套套接在环形腔内且与其滑动连接，所述外推环安装在内滑套的外侧且与其转动连接，所述顶块靠近顶块滑槽底部的一面上设有导向斜面一，所述导向斜面一自顶块滑槽的底部到顶块滑槽的开口朝着外推环的一侧倾斜，所述外推环的外侧壁上设有与导向斜面一相平行的导向斜面二，所述固定块上还固定有气缸三，所述环形腔的端壁上设有与气缸三的活塞杆相匹配的活塞杆环槽，所述活塞杆环槽的中心线和环形腔的中心线相重合，所述气缸三的活塞杆穿过活塞杆环槽置于环形腔内且与内滑套固定连接。固定时，通过气缸三的活塞杆带动内滑套和外推环自动朝着顶块的方向运动，接触时外推环通过导向斜面一和导向斜面二的配合将顶块滑槽内的顶块向外推出，将管件顶住固定，起到固定管件的作用，结构简单，控制方便。通过活塞杆环槽的设计以及内滑套和外推环之间的转动设计，可使得固定有管件的梳头固定辊能够顺利在固定块上随着管件进行同步旋转，以完成对管件的抛光操作。
18、作为优选，所述外推环的内侧壁上设有滚珠环槽一，所述内滑套的外侧壁上设有与滚珠环槽一相匹配的滚珠环槽二，所述滚珠环槽一和滚珠环槽二之间设有若干个滚珠，所述滚珠的其中一侧置于滚珠环槽一内且与其滚动连接，所述滚珠的另一侧置于滚珠本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，步骤一中金属原料熔化后至注入模具中冷却成型前，熔融状态的金属原料与空气需始终处于相互隔绝的状态。
3.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，步骤三中对管件上铣削出的孔、槽依次进行慢走丝粗加工、插磨加工和坐标磨加工。
4.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述管件成品的精度检测项目包括真圆度检测、同心度检测、同轴度检测和垂直度检测。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述抛光设备包括底座（1），所述底座（1）的上方固定有导轨（2），所述导轨（2）上安装有电动滑块（3），所述电动滑块（3）和导轨（2）左右滑动连接，所述电动滑块（3）的底部安装有外抛光轮（4），所述外抛光轮（4）和电动滑块（3）转动连接，所述底座（1）上固定有管件放置架（5），所述管
6.根据权利要求5所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述内抛光装置包括固定竖板一（8），所述固定竖板一（8）置于管件放置架（5）的侧面且其上固定有气缸一（9），所述气缸一（9）的活塞杆上固定有电机座（10），所述电机座（10）的转轴上固定有连接块（11），所述连接块（11）上安装有内抛光轮（12），所述内抛光轮（12）和连接块（11）可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述连接块（11）上设有连接槽（13），所述连接槽（13）的内壁上设有若干个螺纹孔一（14），所述内抛光轮（12）上设有与连接槽（13）相匹配的连接柱（15），所述连接柱（15）和连接槽（13）插接，所述连接柱（15）的侧壁上设有与螺纹孔一（14）相匹配的螺纹孔二（16）。
8.根据权利要求5所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述管件限位装置包括固定竖板二（17），所述固定竖板二（17）置于管件放置架（5）的侧面且其上固定有气缸二（18），所述气缸二（18）的活塞杆上固定有固定块（19），所述固定块（19）上设有管件限位辊（20），所述管件限位辊（20）和固定块（19）转动连接，所述管件限位辊（20）上设有若干个顶块滑槽（21），所述顶块滑槽（21）呈环形分布在管件限位辊（20）的外侧壁上，所述顶块滑槽（21）内滑动连接有顶块（22），所述顶块（22）和顶块滑槽（21）的底面之间通过复位弹簧（23）相连接，所述顶块滑槽（21）的底部还设置有顶出组件。
9.根据权利要求8所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述管件限位辊（20）的内部设有环形腔（24），所述环形腔（24）的中心线和管件限位辊（20）的中心线相重合，所述顶块滑槽（21）置于环形腔（24）的外侧壁上且两者相连通，所述顶出组件包括置于环形腔（24）内的内滑套（25）和外推环（26），所述内滑套（25）套接在环形腔（24）内且与其滑动连接，所述外推环（26）安装在内滑套（25）的外侧且与其转动连接，所述顶块（22）靠近顶块滑槽（21）底部的一面上设有导向斜面一，所述导向斜面一自顶块滑槽（21）的底部到顶块滑槽（21）的开口朝着外推环（26）的一侧倾斜，所述外推环（26）的外侧壁上设有与导向斜面一相平行的导向斜面二，所述固定块（19）上还固定有气缸三（27），所述环形腔（24）的端壁上设有与气缸三（27）的活塞杆相匹配的活塞杆环槽（28），所述活塞杆环槽（28）的中心线和环形腔（24）的中心线相重合，所述气缸三（27）的活塞杆穿过活塞杆环槽（28）置于环形腔（24）内且与内滑套（25）固定连接。
10.根据权利要求9所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述外推环（26）的内侧壁上设有滚珠环槽一（29），所述内滑套（25）的外侧壁上设有与滚珠环槽一（29）相匹配的滚珠环槽二（30），所述滚珠环槽一（29）和滚珠环槽二（30）之间设有若干个滚珠（31），所述滚珠（31）的其中一侧置于滚珠环槽一（29）内且与其滚动连接，...
【技术特征摘要】
1.一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，步骤一中金属原料熔化后至注入模具中冷却成型前，熔融状态的金属原料与空气需始终处于相互隔绝的状态。
3.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，步骤三中对管件上铣削出的孔、槽依次进行慢走丝粗加工、插磨加工和坐标磨加工。
4.根据权利要求1所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述管件成品的精度检测项目包括真圆度检测、同心度检测、同轴度检测和垂直度检测。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述抛光设备包括底座（1），所述底座（1）的上方固定有导轨（2），所述导轨（2）上安装有电动滑块（3），所述电动滑块（3）和导轨（2）左右滑动连接，所述电动滑块（3）的底部安装有外抛光轮（4），所述外抛光轮（4）和电动滑块（3）转动连接，所述底座（1）上固定有管件放置架（5），所述管件放置架（5）上固定有固定轴（6），所述固定轴（6）和导轨（2）平行设置，所述固定轴（6）置于导轨（2）的下方且分别位于导轨（2）的前后两侧，所述固定轴（6）上套接有传动轮（7），所述底座（1）上还设置有内抛光装置和管件限位装置，所述内抛光装置和管件限位装置分别位于管件放置架（5）的左右两侧。
6.根据权利要求5所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述内抛光装置包括固定竖板一（8），所述固定竖板一（8）置于管件放置架（5）的侧面且其上固定有气缸一（9），所述气缸一（9）的活塞杆上固定有电机座（10），所述电机座（10）的转轴上固定有连接块（11），所述连接块（11）上安装有内抛光轮（12），所述内抛光轮（12）和连接块（11）可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，其特征是，所述连接块（11）上设有连接槽（13），所述连接槽（13）的内壁上设有若干个螺纹孔一（14），所述内抛光轮（12）上设有与连接槽（13）相匹配的连接柱（15），所述连接柱（15）和连接槽（13）插接，所述连接柱（15）的侧壁上设有与螺纹孔一（14）相匹配的螺纹孔二（16）。
8.根据权利要求5所述的一种气体输送用的半导体级不锈钢管件的加工工艺，...
【专利技术属性】
技术研发人员：童华宁，刘霞，
申请(专利权)人：长兴云腾新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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