多线切割机工作台校正装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了多线切割机工作台校正装置，属于线切割机校正领域；所要解决的技术问题是提供了一种结构简单，使用方便，校正准确，可靠性高的多线切割机工作台校正装置；解决该技术问题采用的技术方案为：多线切割机工作台校正装置，包括底座，底座上设置有滑轨，滑轨上设置有测量架，测量架上设置有测量指针，测量指针数量为3，测量指针呈等腰三角形结构布置；本发明专利技术可广泛应用于线切割机校正领域。

Multi-wire Cutting Machine Workbench Correction Device

【技术实现步骤摘要】
多线切割机工作台校正装置
本专利技术多线切割机工作台校正装置，属于线切割机校正

技术介绍
目前半导体及泛半导体材料被广泛应用于工业、国防、科研、民用等领域。越来越多的用作固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片、精密耐磨轴承、3G手机面板、高档手表面等诸多产品的原材料。半导体由晶锭加工为衬底必须经过切片工艺，目前，应用最广泛的切片工艺为多线切割，在更换多线切割机罗拉后，由于不同罗拉间差距与开槽精度的缘故，线网可能与工作台不平行。
技术实现思路
本专利技术克服了现有技术存在的不足，提供了一种结构简单，使用方便，校正准确，可靠性高的多线切割机工作台校正装置。为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：多线切割机工作台校正装置，包括底座，底座上设置有滑轨，滑轨上设置有测量架，测量架上设置有测量指针，测量指针数量为3，测量指针呈等腰三角形结构布置。所述的底座上表面设置有刻度，所述的测量架侧边设置有位置指针，所述的位置指针正对底座刻度。所述的底座底部为燕尾型结构。所述的刻度间隔为1mm。本专利技术与现有技术相比具有以下有益效果：通过测量架上的测量指针，可以方便准确的测量出线网与工作台之间的偏差，便于后续的设备的调整，确保可以获得高精度偏角的晶片。附图说明下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。图1为本专利技术的结构示意图。图2为图1的俯视图。图3为图1的正视图。图中1为底座、2为滑轨、3为测量架、4为测量指针、5为线网。具体实施方式如图1~图3所示，本专利技术多线切割机工作台校正装置，包括底座1，底座1上设置有滑轨2，滑轨2上设置有测量架3，测量架3上设置有测量指针4，测量指针4数量为3，测量指针4呈等腰三角形结构布置，底座1上表面设置有刻度，所述的测量架3侧边设置有位置指针，所述的位置指针正对底座刻度，底座1底部为燕尾型结构，刻度间隔为1mm。本专利技术在使用时，安装在多线切割机的工件安装台即工作台上，降下安装台使测量架高于与线网约1mm，使其在线网空缺处，继续降低测量架使测量架底部的两个指针高度与线网一致，移动测量架使顶部测量指针紧贴线网，继续降低测量架使底部的两个指针高度与线网一致，根据其与线网的情况调节工件安装台的角度，使底部两根指针都刚好紧贴线网，这样工件安装台与线网角度一致，升起工件安装台至顶部测量指针高度与线网一致，调节工件安装台俯仰角度，使顶部指针与线网紧贴，确保工件安装台与线网平行，通过这种方法，确保工件安装台与线网水平方向保持一致，确保待加工晶锭加工时不会出现角度偏差。上面结合附图对本专利技术的实施例作了详细说明，但是本专利技术并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利技术宗旨的前提下作出各种变化。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多线切割机工作台校正装置，其特征在于：包括底座（1），底座（1）上设置有滑轨（2），滑轨（2）上设置有测量架（3），测量架（3）上设置有测量指针（4），测量指针（4）数量为3，测量指针（4）呈等腰三角形结构布置。

【技术特征摘要】
1.多线切割机工作台校正装置，其特征在于：包括底座（1），底座（1）上设置有滑轨（2），滑轨（2）上设置有测量架（3），测量架（3）上设置有测量指针（4），测量指针（4）数量为3，测量指针（4）呈等腰三角形结构布置。2.根据权利要求1所述的多线切割机工作台校正装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳霄曦，徐伟，魏汝省，张继光，李斌，王英民，侯晓蕊，周立平，张峰，弓吉祥，
申请(专利权)人：山西烁科晶体有限公司，
类型：发明
国别省市：山西,14