泵装置制造方法及图纸

泵装置具有：蓄留有绝缘性的工作液的液箱；和设置在液箱内的泵。泵具有：埋设有磁铁的叶轮；配置在与磁铁相对的位置的马达定子；收纳叶轮的泵壳体；和收纳马达定子的马达壳体。马达壳体以马达定子的绕组浸渍于工作液的方式开口。

Pump unit

【技术实现步骤摘要】
泵装置
本技术涉及泵装置。
技术介绍
以往，将为了对半导体制造装置等的外部装置进行冷却或温度调整而使用的工作液(热介质)通过泵从蓄留有工作液的液箱循环至外部装置的热交换部。这样的泵大多设置在液箱的外部(液箱的侧部或下部)，因此尤其在设置于液箱的侧部的情况等下，装置整体具有大型化的倾向。在日本特开2006-330901号公报中，公开了将泵的马达部分设置在液箱的上部的纵型多级式的泵。另外，在作为工作液(热介质)而使用了氟类的绝缘性液体的情况下，工作液自身价格高，另外，在半导体制造工厂中为了检测在制造工艺中使用的有毒气体而设置有气体检测器，若工作液发生泄露则有时会导致气体检测器进行错误检测。因此，存在作为使工作液循环的泵而使用不会发生液体泄露的屏蔽电泵(cannedmotorpump)的事例。但是，在屏蔽电泵中，由于是通过工作液对马达的发热进行冷却的构造，因此在工作液的循环温度比较高的情况等下，会导致马达的温度变高。因此，有时需要进行用于从外部对马达进行强制冷却的液体的循环和空气吹扫，装置整体具有进一步大型化的倾向。
技术实现思路
期望提供一种能够不会使装置整体大型化地应对比较高的温度的工作液的泵装置。一个实施方式的泵装置具有：蓄留有绝缘性的工作液的液箱；和设置在上述液箱内的泵，上述泵具有：埋设有磁铁的叶轮；配置在与上述磁铁相对的位置的马达定子；收纳上述叶轮的泵壳体；和收纳上述马达定子的马达壳体，上述马达壳体以上述马达定子的绕组浸渍于上述工作液的方式开口。附图说明图1是表示第1实施方式的泵装置的结构的概略图。图2是将图1所示的泵装置的泵放大示出的剖视图。图3是从吸入侧观察到的图2所示的泵的俯视图。图4是表示第2实施方式的泵装置的结构的概略图。具体实施方式实施方式的第1方式的泵装置具有：蓄留有绝缘性的工作液的液箱；和设置在上述液箱内的泵，上述泵具有：埋设有磁铁的叶轮；配置在与上述磁铁相对的位置的马达定子；收纳上述叶轮的泵壳体；和收纳上述马达定子的马达壳体，上述马达壳体以上述马达定子的绕组浸渍于上述工作液的方式开口。根据这样的方式，由于泵设置在液箱内，所以能够将装置整体小型化。另外，由于马达壳体开口且马达定子的绕组浸渍于液箱内的工作液，所以能够通过工作液将绕组直接冷却，绕组的冷却效率提高。由此，由于能够降低绕组的温度上升，所以能够增加泵能力、提高工作液温的上限。另外，根据这样的方式，不再需要以往的马达壳体的一部分和用于电源连接部的防水型连接器等，而能够将箱体简化，从而能够降低成本。另外，与通过气流对马达进行冷却的以往事例相比，不再需要进行空气吹扫，因此能够得到节能效果，能够将装置小型化，能够减少冷却片、歧管等零部件数量，且不再需要进行空气流量控制等，从而能够简化装置整体。而且，根据这样的方式，由于泵设置在液箱内且浸渍于工作液中，以及液箱具有双重箱体的作用，所以能够降低噪音。实施方式的第2方式的泵装置是第1方式的泵装置，在上述泵的吸入侧，配置有以供上述工作液从上述马达壳体开口的位置通过的方式引导上述工作液的引导件。根据这样的方式，利用引导件以工作液从马达壳体开口的位置通过的方式对其进行引导，在马达定子的绕组附近，即使工作液的温度由于绕组的发热而上升，温度上升后的工作液也不会滞留于该处，因此能够进一步提高基于工作液对绕组的冷却效率。实施方式的第3方式的泵装置是第1或2方式的泵装置，上述泵的吸入口配置在比上述马达定子高的高度位置。根据这样的方式，在泵的正常运转中能够保持使马达定子的绕组浸渍于工作液而使其直接冷却的状态。实施方式的第4方式的泵装置是第3方式的泵装置，还具有控制部，该控制部监视被供给到上述马达定子的电流，在被供给到上述马达定子的电流小于规定的阈值的情况下，执行停止向上述马达定子供给电流以及发出警报中的至少一个动作。根据这样的方式，能够在绕组没有浸渍于工作液而没能通过工作液有效地冷却绕组的情况下，防止持续运转泵而导致绕组的温度过度上升。以下参照附图来详细地说明实施方式的具体例。此外，在本说明书的附图中，为了便于容易理解图示，适当相对于实物进行缩尺及纵横尺寸比变更而夸张地示出。图1是表示第1实施方式的泵装置1的结构的概略图。如图1所示，泵装置1具有液箱10、和设置在液箱10内的泵20。在液箱10中蓄留有绝缘性的工作液11。作为工作液11，例如使用氟类的绝缘性液体(具体地说例如Fluorinert(注册商标))。在图示的例子中，在液箱10的下部侧壁上插设有输送配管14，泵20的排出配管20c经由接头15而与输送配管14连接。为了在液箱10内容易进行配管的连接、分离，作为接头15而优选使用联管接头或管箍接头。从泵20的排出配管20c排出的工作液11从输送配管14通过并被向未图示的外部装置送出。另外，在液箱10的顶部插设有返回配管13，从未图示的外部装置通过并进行了热交换的工作液11从返回配管13通过并向液箱10的内部返回而蓄留。图2是将设置在液箱10内的泵20放大示出的剖视图。如图2所示，泵20具有：埋设有磁铁(永久磁铁)22的叶轮21；配置在与磁铁22相对的位置的马达定子23；收纳叶轮21的泵壳体24；和收纳马达定子23的马达壳体25。泵壳体24及马达壳体25的接液部由耐工作液11的材料、例如PPS(聚苯硫醚)、PEEK(聚醚醚酮)等树脂形成。如图2所示，马达定子23及马达壳体25配置在叶轮21的吸入侧，马达壳体25划分出吸入口20a。在马达壳体25与叶轮21之间配置有支承叶轮21的径向荷载及轴向荷载的轴承组装体26。如图2所示，在马达壳体25及轴承组装体26的中心部，分别形成有液体流路。这些液体流路连结成一列，构成从吸入口20a延伸至叶轮21的液体入口的一条液体流路。这些液体流路与叶轮21的液体入口连通。本实施方式的泵20是搭载了沿着这些液体流路配置磁铁22及马达定子23的轴向间隙型PM马达的泵。如图2所示，在泵壳体24的侧面上设有具有排出口20b的排出配管20c。通过旋转的叶轮21而升压的液体从排出配管20c通过并被从排出口20b排出。此外，本实施方式的泵20是吸入口20a和排出口20b正交的、所谓端顶式泵(end-toptypepump)。叶轮21由容易滑动、难以磨损、且耐工作液11的非磁性材料形成。例如，作为叶轮21的材质，优选使用PPS(聚苯硫醚)、PEEK(聚醚醚酮)等树脂或陶瓷。泵壳体24及马达壳体25也能够由与叶轮21相同的材料形成。叶轮21由单一的轴承组装体26旋转自如地支承。该轴承组装体26是利用了流体的动压的滑动轴承(动压轴承)。该轴承组装体26由相互平缓地卡合的旋转侧轴承26a及固定侧轴承26b的组合构成。旋转侧轴承26a固定在叶轮21上，以包围叶轮21的流体入口的方式配置。固定侧轴承26b固定在马达壳体25上，且配置在旋转侧轴承26a的吸入侧。该旋转侧轴承26a具有沿旋转侧轴承26a的轴向延伸的圆筒部、和从圆筒部向外侧突出的凸缘部。固定侧轴承26b的圆筒部具有支承叶轮21的径向荷载的径向面，凸缘部具有支承叶轮21的轴向荷载的轴向面。径向面与叶轮21的轴心平行，轴向面相对于叶轮21的轴心垂直。旋转侧轴承26a配置在固定侧轴承26b的圆筒部的周围。从叶轮21排出的工作液11的一部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泵装置，其特征在于，具有：蓄留有绝缘性的工作液的液箱；和设置在所述液箱内的泵，所述泵具有：埋设有磁铁的叶轮；配置在与所述磁铁相对的位置的马达定子；收纳所述叶轮的泵壳体；和收纳所述马达定子的马达壳体，所述马达壳体以所述马达定子的绕组浸渍于所述工作液的方式开口。

【技术特征摘要】
2017.12.28 JP 2017-2540711.一种泵装置，其特征在于，具有：蓄留有绝缘性的工作液的液箱；和设置在所述液箱内的泵，所述泵具有：埋设有磁铁的叶轮；配置在与所述磁铁相对的位置的马达定子；收纳所述叶轮的泵壳体；和收纳所述马达定子的马达壳体，所述马达壳体以所述马达定子的绕组浸渍于所述工作液的方式开口。2.如权利要求1所述的泵装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：黑沼隆行，大石洋平，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP