一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀，换向阀的第二出口管连接设置有光阻输送管。通过控制稳定压差单元，将调压输送装置内的光阻抽取至稳定压差单元内。在进行喷涂时，将光阻从稳定压差单元内挤压出去，通过设定喷涂的用量，以及调整换向阀的方向，使得光阻通过光阻输送管输送至喷涂工作台上，经过光阻输送管末端上的喷头将光阻均匀的喷涂在晶圆上，同时达到控制光阻喷头的回吸量。继而再由调压输送装置内抽取光阻，补充至稳定压差单元中。由于在输送光阻过程中压差不变，且通过过滤光阻内的气体，避免气泡的产生，提高了产品生产的效率和质量。

An Effective Device for Improving Bubbles in High Viscosity Photoresist Coating

【技术实现步骤摘要】
一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置
本技术涉及光阻涂布设备领域，尤其涉及一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置。
技术介绍
半导体制程工艺中，晶圆的光阻涂布是不可或缺的一道工艺，而在这道工艺中容易在涂布过程中产生光阻气泡，尤其在高浓度光阻涂布过程中极易产生光阻气泡。而一旦在晶圆光阻涂布工艺中产生光阻气泡时，会产生以下的问题：一、在后续工序的蚀刻工艺中，气泡的存在会使该气泡在蚀刻后出现穿洞现象，造成蚀刻的芯片报废率较高，而且会影响后续工艺的进行，使得生产效率较低；二、在晶圆的切割道工艺中，气泡若与切割道相连会造成切割道蚀刻形状异常的问题；三、若图案中出现光阻气泡则可能造成晶圆被误蚀刻。因此光阻涂布出现的气泡越多时，越容易发生产品不合格的问题，导致产品生产效率较低的问题。而气泡的产生的主要有两个因素：一是气体融入造成；一是压差造成的。
技术实现思路
为此，需要提供一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，用以解决现有光阻喷涂时气泡较多的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀；所述调压输送装置的输出口与换向阀的进口管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，其特征在于：包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀；所述调压输送装置的输出口与换向阀的进口管连接，换向阀的第一出口与稳定压差单元管连接，换向阀的第二出口管连接设置有光阻输送管，控制单元与稳定压差单元电连接设置，调压输送装置用于输送光阻至稳定压单元中，控制单元用于调控稳定压差单元抽取或挤压光阻进行喷涂。

【技术特征摘要】
1.一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，其特征在于：包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀；所述调压输送装置的输出口与换向阀的进口管连接，换向阀的第一出口与稳定压差单元管连接，换向阀的第二出口管连接设置有光阻输送管，控制单元与稳定压差单元电连接设置，调压输送装置用于输送光阻至稳定压单元中，控制单元用于调控稳定压差单元抽取或挤压光阻进行喷涂。2.根据权利要求1所述的一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，其特征在于：所述稳定压差单元为薄膜泵，薄膜泵的电机与控制单元电连接。3.根据权利要求1所述的一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，其特征在于：所述调压输送装置包括氮气输送管、增压罐和油罐，氮气输送管设置在增压罐的输入口上，增压管的输出口与油罐的输入口管连接设置，油罐的输出口与换向阀的进口管连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明明，许哲维，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35