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本实用新型公开一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀，换向阀的第二出口管连接设置有光阻输送管。通过控制稳定压差单元，将调压输送装置内的光阻抽取至稳定压差单元内。在进行喷涂时，将光阻从稳定压差单...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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