【技术实现步骤摘要】
致动传感模块
本案是关于一种致动传感模块，尤指一种透过气体循环的方式感测气体的致动传感模块。
技术介绍
目前人类在生活上对环境的监测要求愈来愈重视，例如一氧化碳、二氧化碳、挥发性有机物(VolatileOrganicCompound，VOC)、PM2.5等等环境的监测，环境中这些气体暴露会对人体造成不良的健康影响，严重的甚至危害到生命，因此，环境气体监测纷纷引起各国重视，并渐渐成为生活中不可忽略的课题。然而，现有的技术中，环境气体检测仪器体积过大，例如：空气滤净机，且不便于使用者随身携带，因此，使用者欲即使取得周遭环境的气体信息仍具有一定的难度，且使用者仍很有可能因此暴露在具有危害人体的气体的环境之中。是以，如何随时随地取得周遭环境的气体信息实为当前极需解决的问题。除此之外，已知的环境气体检测仪器中并没有防水、防尘的功能，若于气体流通的过程中有水气或液体流入仪器之中，易使输出的气体含水气，进而导致用以感测气体的电子元件遭致受潮、生锈，甚至是损坏的风险。此外，已知的环境气体检测仪器亦没有防尘功能，若于气体流通的过程中有粉尘进入环境气体检测仪器之中，亦有可能导...
【技术保护点】
1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，设有至少一控制电路；一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体出口，并电性连接该至少一控制电路；以及至少一传感器，设置于该气流回路中与该气体入口错位设置且与该至少一致动装置间隔设置，该至少一传感器电性连接该至少一控制电路；其中，透过驱动该致动装置，将外界的一气体经由该气体入口导入该气体通道，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。
【技术特征摘要】
1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，设有至少一控制电路；一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体出口，并电性连接该至少一控制电路；以及至少一传感器，设置于该气流回路中与该气体入口错位设置且与该至少一致动装置间隔设置，该至少一传感器电性连接该至少一控制电路；其中，透过驱动该致动装置，将外界的一气体经由该气体入口导入该气体通道，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一控制电路透过半导体制程设置于该第一基板，该至少一控制电路电性连接该致动装置及该传感器，以供该致动装置、该传感器获取驱动电源及计算处理该传感器所产生的感测数据。3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一传感器透过半导体制程设置于该第一基板，且对应该气体出口设置。4.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板透过半导体制程成型一凹槽，该凹槽在该第一基板与该第二基板叠合之后，在该第一基板与该第二基板之间形成该气体通道。5.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器、一二氧化碳传感器、一温度传感器、一臭氧传感器及一挥发性有机物传感器的至少其中之一或其组合。6.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一微机电系统气体泵，该微机电系统气体泵包含：一入口板，具有至少一进气孔及一汇流腔室；一共振膜，为面型微加工技术制成的具挠性悬浮结构，具有一中空孔洞；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有一悬浮部、一外框部及至少一连接部，该至少一连接部在该悬浮部与该外框部之间定义至少一间隙；以及一压电膜，贴附于该悬浮部的一表面；其中，该入口板、该共振膜及该致动膜依序对应堆叠设置，且在该共振膜与该致动膜之间形成一压缩腔室，当该压电膜驱动该致动膜时，气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室，流经该共振膜的该中空孔洞进入该压缩腔室内，并由该至少一间隙排出，借此以将气体导入该气体通道的中。7.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该致动膜为一金属材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，陈世昌，黄启峰，韩永隆，郭俊毅，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71
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