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本案提供一种致动传感模块，包含：第一基板，设有控制电路；第二基板，具有气体入口及气体出口，第二基板与第一基板叠合后形成气体通道，气体入口、气体通道及气体出口相互连通以形成一气流回路；致动装置，设置于第二基板的气体出口，并电性连接控制电路；以...
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