The utility model provides a graphite boat assembly, which comprises a graphite boat for loading silicon wafers and a support seat for supporting a rotating graphite boat. The graphite boat has a number of graphite boats arranged at intervals along the first direction. The support seat has a horizontally arranged support and a driving mechanism for driving the rotation of the graphite boat in the first direction. The graphite boat is driven by a driving mechanism. Compared with the horizontal inclined arrangement, the silicon wafer can be connected to the graphite boat and slid down along the surface of the graphite boat into the graphite boat when it is placed downward. In this way, the free falling form of silicon wafer is used to reduce the chip dropping probability.
【技术实现步骤摘要】
石墨舟组件
本技术涉及光伏
，尤其涉及一种石墨舟组件。
技术介绍
由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，在晶体硅表面淀积减反射膜技术中，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力，从而被广泛采用。在晶体硅太阳能电池制造过程中，制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法，简称为PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。如于2015年1月28日公开的...
【技术保护点】
1.一种石墨舟组件，其特征在于：包括用于装载硅片的石墨舟及用于支撑转动石墨舟的支撑座，所述石墨舟内具有沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，所述支撑座具有水平设置的支架及用于在第一方向驱动石墨舟转动的驱动机构，所述石墨舟片被驱动机构驱动而相较于水平面倾斜设置，使得硅片向下放入时可抵接到石墨舟片并沿石墨舟片表面向下滑入石墨舟内。
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟组件，其特征在于：包括用于装载硅片的石墨舟及用于支撑转动石墨舟的支撑座，所述石墨舟内具有沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，所述支撑座具有水平设置的支架及用于在第一方向驱动石墨舟转动的驱动机构，所述石墨舟片被驱动机构驱动而相较于水平面倾斜设置，使得硅片向下放入时可抵接到石墨舟片并沿石墨舟片表面向下滑入石墨舟内。2.根据权利要求1所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有底部及相对于底部设置用于插设硅片的开口，所述开口朝向与石墨舟片的倾斜方向一致。3.根据权利要求2所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有设置在石墨舟片上用于定位硅片的镂空硅片位，使得硅片沿着石墨舟片滑落而定位在镂空硅片位上。4.根据权利要求3所述的石墨舟组件，其特征在于：所述镂空硅片位的边缘设置有用以将硅片固定在石墨舟片上的卡扣部。5.根据权利要求3所述的石墨舟组件，其特征在于：所述石墨舟具有分别位于两端缘的第一端部和第二端部，倾斜设置时...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓伟，张建峰，王森，朱元，
申请(专利权)人：盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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