一种均匀型湿法刻蚀装置制造方法及图纸

技术编号:21333136 阅读:39 留言:0更新日期:2019-06-13 20:08
本实用新型专利技术公开了一种均匀型湿法刻蚀装置,包括:刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台,所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部,所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方,所述若干分流筒分别固定连接所述若干转轴。通过上述方式,本实用新型专利技术均匀型湿法刻蚀装置通过采用若干分流筒等间距水平排列在进液口的下方,将刻蚀液均匀分散下落到刻蚀腔内,防止刻蚀液分散不均导致刻蚀不均,有利于提高刻蚀的均匀度和品质,结构新颖、操作简便、性能稳定、方便实用,在均匀型湿法刻蚀装置的普及上有着广泛的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种均匀型湿法刻蚀装置
本技术涉及电子元器件加工领域,特别是涉及一种均匀型湿法刻蚀装置。
技术介绍
电子元器件是电子元件和电小型的机器、仪器的组成部分,其本身常由若干零件构成,可以在同类产品中通用;常指电器、无线电、仪表等工业的某些零件,如电容、晶体管、游丝、发条等子器件的总称。液晶显示屏是常用的电子元器件之一,现有的液晶显示屏在加工时,常存在刻蚀不均匀等缺点,严重影响液晶显示屏的品质。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种均匀型湿法刻蚀装置,通过采用若干分流筒等间距水平排列在进液口的下方,将刻蚀液均匀分散下落到刻蚀腔内,防止刻蚀液分散不均导致刻蚀不均,有利于提高刻蚀的均匀度和品质,结构新颖、操作简便、性能稳定、方便实用,在均匀型湿法刻蚀装置的普及上有着广泛的市场前景。为解决上述技术问题,本技术提供一种均匀型湿法刻蚀装置,包括:刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台,所述进液口连通连接所述刻蚀腔的顶部,所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部且朝向所述进液口,所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方,所述若干分流筒分别固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种均匀型湿法刻蚀装置,其特征在于,包括:刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台,所述进液口连通连接所述刻蚀腔的顶部,所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部且朝向所述进液口,所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方,所述若干分流筒分别固定连接所述若干转轴随所述转轴转动,所述电机设置在所述刻蚀腔的底部,所述电机连接并驱动所述转台转动,所述转台位于所述刻蚀腔的内部的底部,所述刻蚀台固定连接所述转台随所述转台转动,所述刻蚀台朝向所述若干分流筒。

【技术特征摘要】
1.一种均匀型湿法刻蚀装置,其特征在于,包括:刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台,所述进液口连通连接所述刻蚀腔的顶部,所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部且朝向所述进液口,所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方,所述若干分流筒分别固定连接所述若干转轴随所述转轴转动,所述电机设置在所述刻蚀腔的底部,所述电机连接并驱动所述转台转动,所述转台位于所述刻蚀腔的内部的底部,所述刻蚀台固定连接所述转台随所述转台转动,所述刻蚀台朝向所述若干分流筒。2.根据权利要求1所述的均匀型湿法刻蚀装置,其特征在于,所述进液...

【专利技术属性】
技术研发人员:石峰
申请(专利权)人:宿迁市永迈电子有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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