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一种均匀型湿法刻蚀装置制造方法及图纸
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下载一种均匀型湿法刻蚀装置的技术资料
文档序号:21333136
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本实用新型公开了一种均匀型湿法刻蚀装置,包括:刻蚀腔、进液口、若干导流板、若干转轴、若干分流筒、电机、转台和刻蚀台,所述若干导流板设置在所述刻蚀腔的内部的顶部,所述若干转轴转动连接所述刻蚀腔的内部且位于所述若干导流板的下方,所述若干分流筒分...
该专利属于宿迁市永迈电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宿迁市永迈电子有限公司授权不得商用。
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