一种光刻机的取料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种光刻机的取料装置，一种光刻机的取料装置，包括密封箱，密封箱设有启闭门，密封箱内设有光刻台，还包括固定在密封箱并位于光刻台一侧的气缸和位于光刻台另一侧的收集箱，气缸的活塞杆的端部设有推块，推块的下端面与光刻台表面齐平，收集箱靠近光刻台的一侧开设有供芯片进入的进料口。本实用新型专利技术这样设置的有益效果是，使用推块将光刻台上的芯片推到收集集箱内进行放置，当收集箱内的芯片到达预设量的时候，再打开启闭门将收集箱取出，避免每完成一片芯片的制作便打开一次启闭门取出芯片，再将待曝光芯片放到光刻台上，减少了操作过程中取芯片的步骤，提高了工作效率。

A Feeding Device for Lithography Machine

The utility model relates to a material taking device of a photolithography machine. The material taking device of a photolithography machine includes a sealing box, an opening and closing door of the sealing box, a photolithographic table in the sealing box, a cylinder fixed on one side of the sealing box and a collection box located on the other side of the photolithographic table, a push block is arranged at the end of the piston rod of the cylinder, and the lower end of the push block is level with the surface of the photolithographic table. The collecting box is close to the lithographic table with an inlet port for chips to enter. The utility model has the beneficial effect that the chip on the photolithographic table is pushed into the collection header by a push block for placement. When the chip in the collection header reaches the preset amount, the opening and closing door is opened again to take out the collection box, so as to avoid opening and closing the door and taking out the chip once every chip is made, and then the chip to be exposed is put on the photolithographic table, thus reducing the operation process. The steps of extracting chips from the chip have improved the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的取料装置
本技术涉及光刻机取料的
，尤其是涉及一种光刻机的取料装置。
技术介绍
目前制造芯片时使用光刻机对硅片进行光刻工艺加工之后的到的一种产品。现有的用光刻机在制作芯片时，当进行到曝光阶段时，将待曝光的芯片放置到光刻台上，利用紫外线对其进行曝光，曝光完成之后再从其从光刻台上取出，然后再进行下一个待曝光的芯片进行曝光操作。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：因为制作过程中用到紫外线对待曝光的芯片进行曝光，而紫外线对人的身体有害，所以设置有密封箱将机体密封起来。当制作芯片时，需要打开密封箱上的启闭门将待曝光的芯片放置到光刻台上，然后关上启闭门，进行光刻，当光刻完成之后，打开启闭门，将芯片取出。当进行批量操作时，每进行一片芯片的制作，就需要打开启闭门将芯片放到光刻台上，制作完成之后，再打开启闭门将芯片取出，然后将下一片待曝光的芯片放到光刻台上。但是，每次操作都要将光刻完成的芯片从光刻台取下，再将待曝光的芯片放到光刻台上，如此操作，增加了操作量，影响工作效率，需要对此进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光刻机的取料装置，用来实现将芯片收集到预设量时再将其从密封箱内取出，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机的取料装置，包括密封箱(1)，所述密封箱(1)设有启闭门(11)，所述密封箱(1)内设有光刻台(2)，其特征在于：还包括固定在所述密封箱(1)并位于所述光刻台(2)一侧的气缸(3)和位于光刻台(2)另一侧的收集箱(4)，所述气缸(3)的活塞杆的端部设有推块(9)，所述推块(9)的下端面与所述光刻台(2)表面齐平，所述收集箱(4)靠近所述光刻台(2)的一侧开设有供芯片(12)进入的进料口(5)。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的取料装置，包括密封箱(1)，所述密封箱(1)设有启闭门(11)，所述密封箱(1)内设有光刻台(2)，其特征在于：还包括固定在所述密封箱(1)并位于所述光刻台(2)一侧的气缸(3)和位于光刻台(2)另一侧的收集箱(4)，所述气缸(3)的活塞杆的端部设有推块(9)，所述推块(9)的下端面与所述光刻台(2)表面齐平，所述收集箱(4)靠近所述光刻台(2)的一侧开设有供芯片(12)进入的进料口(5)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取料装置，其特征在于：所述密封箱(1)的底部设置有滑轨(6)，所述滑轨(6)朝向启闭门(11)设置，所述收集箱(4)滑动连接于所述滑轨(6)。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄祖仪，张宇，杨维，
申请(专利权)人：深圳市致行科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44