一种可以调节高度的靶材生产用检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，属于检测装置技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和弹起装置，装置本体的上端面安装有机箱，机箱的正面开设有储物柜，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连接有夹持套环，校准器安装在声波检测器的上端面，在检测装置对靶材进行检测的时候，夹持套环牢牢固定在伸缩杆上，声波检测器对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器会对靶材进行扫描，使得对靶材的检测数据更加精准，在升降装置的配合下，解决了对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。

A Detection Device for Target Production with Adjustable Height

The utility model discloses a detection device for target material production, which can adjust height, belonging to the technical field of detection device. The technical scheme points of the device include device body, lifting device and pop-up device, an organic box is installed on the upper end of the device body, and a storage cabinet is arranged on the front of the chassis. The detection device includes a clamping ring, an acoustic detector and a calibrator, and an acoustic detector. The left side of the detector is connected with a clamp ring. The calibrator is installed on the upper end of the acoustic detector. When the detector detects the target, the clamp ring is firmly fixed on the telescopic rod. The acoustic detector emits sound waves from the surface of the target, and detects the smoothness of the target surface according to the reflected sound waves from the target. The calibrator scans the target so that the target can be scanned. The detection data is more accurate. With the cooperation of the lifting device, the problem of slow detection efficiency is solved that when the target is detected, the target needs to be detected by the detection device in turn.

【技术实现步骤摘要】
一种可以调节高度的靶材生产用检测装置
本技术涉及检测装置
，特别涉及一种可以调节高度的靶材生产用检测装置。
技术介绍
在靶材生成制作过程中，通常采用溅射法在靶材表面上进行镀膜，靶材表面若不平整，在进行镀膜的过程中，将会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀，影响后期的使用。现在的靶材生产用检测装置，检测位置固定，对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢。
技术实现思路
本技术提供一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，旨在解决现在的靶材生产用检测装置，检测位置固定，对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。本技术是这样实现的，一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体、升降装置和弹起装置，所述装置本体的上端面安装有机箱，所述机箱的正面开设有储物柜，所述机箱的右侧开设有进料口，所述进料口的右侧连接有置物槽，所述机箱上端面的左侧安装有升降装置，所述升降装置包括气缸、底部支撑架和操作面板，所述底部支撑架的内侧安装有气缸，所述底部支撑架的上端面安装有操作面板，所述底部支撑架的上端面设置有伸缩杆，所述伸缩杆位于操作面板的右侧，所述伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和弹起装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有机箱（2），所述机箱（2）的正面开设有储物柜（203），所述机箱（2）的右侧开设有进料口（201），所述进料口（201）的右侧连接有置物槽（207），所述机箱（2）上端面的左侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）包括气缸（301）、底部支撑架（302）和操作面板（303），所述底部支撑架（302）的内侧安装有气缸（301），所述底部支撑架（302）的上端面安装有操作面板（303），所述底部支撑架（302）的上端面设置有伸缩杆（304），所述伸缩杆（304...

【技术特征摘要】
1.一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和弹起装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有机箱（2），所述机箱（2）的正面开设有储物柜（203），所述机箱（2）的右侧开设有进料口（201），所述进料口（201）的右侧连接有置物槽（207），所述机箱（2）上端面的左侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）包括气缸（301）、底部支撑架（302）和操作面板（303），所述底部支撑架（302）的内侧安装有气缸（301），所述底部支撑架（302）的上端面安装有操作面板（303），所述底部支撑架（302）的上端面设置有伸缩杆（304），所述伸缩杆（304）位于操作面板（303）的右侧，所述伸缩杆（304）的外侧壁安装有检测装置（305）。2.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述检测装置（305）包括夹持套环（3051）、声波检测器（3052）和校准器（3053），所述声波检测器（3052）的左侧连接有夹持套环（3051），所述校准器（3053）安装在声波检测器（3052）的上端面。3.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述弹起装置（4）包括限位套（401）、平衡架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41