一种可以调节高度的靶材生产用检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，属于检测装置技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和弹起装置，装置本体的上端面安装有机箱，机箱的正面开设有储物柜，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连接有夹持套环，校准器安装在声波检测器的上端面，在检测装置对靶材进行检测的时候，夹持套环牢牢固定在伸缩杆上，声波检测器对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器会对靶材进行扫描，使得对靶材的检测数据更加精准，在升降装置的配合下，解决了对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。

A Detection Device for Target Production with Adjustable Height

The utility model discloses a detection device for target material production, which can adjust height, belonging to the technical field of detection device. The technical scheme points of the device include device body, lifting device and pop-up device, an organic box is installed on the upper end of the device body, and a storage cabinet is arranged on the front of the chassis. The detection device includes a clamping ring, an acoustic detector and a calibrator, and an acoustic detector. The left side of the detector is connected with a clamp ring. The calibrator is installed on the upper end of the acoustic detector. When the detector detects the target, the clamp ring is firmly fixed on the telescopic rod. The acoustic detector emits sound waves from the surface of the target, and detects the smoothness of the target surface according to the reflected sound waves from the target. The calibrator scans the target so that the target can be scanned. The detection data is more accurate. With the cooperation of the lifting device, the problem of slow detection efficiency is solved that when the target is detected, the target needs to be detected by the detection device in turn.

【技术实现步骤摘要】
一种可以调节高度的靶材生产用检测装置
本技术涉及检测装置
，特别涉及一种可以调节高度的靶材生产用检测装置。
技术介绍
在靶材生成制作过程中，通常采用溅射法在靶材表面上进行镀膜，靶材表面若不平整，在进行镀膜的过程中，将会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀，影响后期的使用。现在的靶材生产用检测装置，检测位置固定，对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢。
技术实现思路
本技术提供一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，旨在解决现在的靶材生产用检测装置，检测位置固定，对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。本技术是这样实现的，一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体、升降装置和弹起装置，所述装置本体的上端面安装有机箱，所述机箱的正面开设有储物柜，所述机箱的右侧开设有进料口，所述进料口的右侧连接有置物槽，所述机箱上端面的左侧安装有升降装置，所述升降装置包括气缸、底部支撑架和操作面板，所述底部支撑架的内侧安装有气缸，所述底部支撑架的上端面安装有操作面板，所述底部支撑架的上端面设置有伸缩杆，所述伸缩杆位于操作面板的右侧，所述伸缩杆的外侧壁安装有检测装置。优选的，所述检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，所述声波检测器的左侧连接有夹持套环，所述校准器安装在声波检测器的上端面。优选的，所述弹起装置包括限位套、平衡架和驱动电机，所述驱动电机安装在机箱内，所述限位套的左侧连接有平衡架，所述限位套的横截面积小于置物槽的横截面积。优选的，所述限位套两侧的外侧壁安装有红外线传感器，所述红外线传感器位于远离平衡架的一侧，所述红外线传感器的前端信号连接有信号接收器，所述信号接收器的左侧与驱动电机通过导线连接。优选的，所述驱动电机的右侧连接有两根传动杆，两根所述传动杆的上端面均安装有三个推板，三个所述推板等间距分布。优选的，所述夹持套环的半径等于伸缩杆的半径，所述夹持套环的内壁均匀布满卡齿。优选的，所述机箱的下端面紧密贴合有橡胶垫，所述橡胶垫的横截面积等于整个机箱下端面的横截面积。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该种可以调节高度的靶材生产用检测装置，机箱上端面的左侧安装有升降装置，升降装置包括气缸、底部支撑架和操作面板，底部支撑架的内侧安装有气缸，底部支撑架的上端面安装有操作面板，底部支撑架的上端面设置有伸缩杆，伸缩杆的外侧壁安装有检测装置，在靶材安放完毕后，工作人员通气操作面板对升降装置进行启动，伸缩杆开始进行伸缩，检测装置也会随之进行移动，从而对靶材从上至下进行检测。2、该种可以调节高度的靶材生产用检测装置，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连接有夹持套环，校准器安装在声波检测器的上端面，在检测装置对靶材进行检测的时候，夹持套环牢牢固定在伸缩杆上，声波检测器对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器会对靶材进行扫描，使得对靶材的检测数据更加精准，在升降装置的配合下，解决了对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。3、该种可以调节高度的靶材生产用检测装置，机箱的右侧开设有进料口，进料口的右侧连接有置物槽，限位套两侧的外侧壁安装有红外线传感器，红外线传感器位于远离平衡架的一侧，红外线传感器的前端信号连接有信号接收器，信号接收器的左侧与驱动电机通过导线连接，在对靶材进行检测前，靶材通过进料口进入到置物槽内，当靶材放置完成后，红外线传感器会发出信号到信号接收器上，信号接收器启动驱动电机，使得推板开始对置物槽进行推起，最后置物槽呈九十度固定，检测装置在升降装置的配合下，对靶材从上至下快速进行检测，从而提高了检测效率。4、该种可以调节高度的靶材生产用检测装置，限位套的左侧连接有平衡架，机箱的下端面紧密贴合有橡胶垫，在对把靶材进行检测的过程中，平衡架会对限位套进行固定，避免限位套在升起的过程中，产生偏移，导致检测装置无法对靶材进行检测，而采用橡胶垫作为底垫，能够有效的对湿气进行隔绝，避免了潮湿的环境对储物柜内所存放的器具产生影响，保证了装置本体对靶材的正常检测。附图说明图1为本技术一种可以调节高度的靶材生产用检测装置的主视图；图2为本技术机箱的剖视图；图3为本技术检测装置的局部结构示意图；图4为本技术图A的放大结构示意图。图中，1、装置本体；2、机箱；201、进料口；202、橡胶垫；203、储物柜；204、驱动电机；205、传动杆；206、推板；207、置物槽；3、升降装置；301、气缸；302、底部支撑架；303、操作面板；304、伸缩杆；305、检测装置；3051、夹持套环；3052、声波检测器；3053、校准器；4、弹起装置；401、限位套；402、平衡架；403、红外线传感器；404、信号接收器。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体1、升降装置3和弹起装置4，装置本体1的上端面安装有机箱2，机箱2的正面开设有储物柜203，机箱2的右侧开设有进料口201，进料口201的右侧连接有置物槽207，靶材通过进料口201进入到置物槽207后，置物槽207的内壁均匀设置有纹路，使得靶材滑动的过程中，会与置物槽207的内壁产生摩擦力，避免了靶材容易出现脱落，影响检测装置305的正常检测，机箱2上端面的左侧安装有升降装置3，升降装置3包括气缸301、底部支撑架302和操作面板303，底部支撑架302的内侧安装有气缸301，气缸301与操作面板303通过导线连接，在工作人员对操作面板303进行操作的时候，气缸301也会随之进行启动，并对伸缩杆304的伸缩进行控制，底部支撑架302的上端面安装有操作面板303，底部支撑架302的上端面设置有伸缩杆304，伸缩杆304位于操作面板303的右侧，伸缩杆304的外侧壁安装有检测装置305。优选的，检测装置305包括夹持套环3051、声波检测器3052和校准器3053，声波检测器3052的左侧连接有夹持套环3051，校准器3053安装在声波检测器3052的上端面，通过检测装置305，在对靶材进行检测的时候，夹持套环3051牢牢固定在伸缩杆304上，声波检测器3052对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器3053会对靶材进行扫描，弹起装置4包括限位套401、平本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和弹起装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有机箱（2），所述机箱（2）的正面开设有储物柜（203），所述机箱（2）的右侧开设有进料口（201），所述进料口（201）的右侧连接有置物槽（207），所述机箱（2）上端面的左侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）包括气缸（301）、底部支撑架（302）和操作面板（303），所述底部支撑架（302）的内侧安装有气缸（301），所述底部支撑架（302）的上端面安装有操作面板（303），所述底部支撑架（302）的上端面设置有伸缩杆（304），所述伸缩杆（304）位于操作面板（303）的右侧，所述伸缩杆（304）的外侧壁安装有检测装置（305）。

【技术特征摘要】
1.一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和弹起装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有机箱（2），所述机箱（2）的正面开设有储物柜（203），所述机箱（2）的右侧开设有进料口（201），所述进料口（201）的右侧连接有置物槽（207），所述机箱（2）上端面的左侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）包括气缸（301）、底部支撑架（302）和操作面板（303），所述底部支撑架（302）的内侧安装有气缸（301），所述底部支撑架（302）的上端面安装有操作面板（303），所述底部支撑架（302）的上端面设置有伸缩杆（304），所述伸缩杆（304）位于操作面板（303）的右侧，所述伸缩杆（304）的外侧壁安装有检测装置（305）。2.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述检测装置（305）包括夹持套环（3051）、声波检测器（3052）和校准器（3053），所述声波检测器（3052）的左侧连接有夹持套环（3051），所述校准器（3053）安装在声波检测器（3052）的上端面。3.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述弹起装置（4）包括限位套（401）、平衡架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41