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本实用新型公开了一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，属于检测装置技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和弹起装置，装置本体的上端面安装有机箱，机箱的正面开设有储物柜，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。

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