A spray lamp mechanism of a vapor deposition device includes an inner bracket, a lamp regulator and an ejector. The lamp regulator is located on the inner bracket, and the ejector is arranged on the lamp regulator. The ejector comprises a spray lamp holder and a spray lamp. The spray lamp has a plurality of spray lamps, and a plurality of spray lamps are arranged on the spray lamp holder in order from top to bottom. The blowtorch mechanism with the above structure can not only deposit materials on the target rod efficiently, but also adjust the deposition rate, thereby adjusting the diameter of the optical fiber preform rod with high degree of freedom.
【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积设备的喷灯机构
本专利技术涉及光纤预制棒制造领域，尤其是涉及一种气相沉积设备的喷灯机构。
技术介绍
光纤预制棒是具有特定折射率剖面并用于制造光导纤维(简称光纤)的石英玻璃棒。预制棒一般直径为几毫米至几十毫米(俗称光棒)。光纤的内部结构就是在预制棒中形成的。因为预制棒的制作是光纤工艺中最重要的部分，所以从20世纪70年代末期开始规模生产光纤以来，对光纤预制棒制造技术的研究和完善改进就从来没有间断过。在光纤预制棒的制造过程中，其外包层常常采用OVD法制备，OVD法具有效率高、灵活性强、经济效益好等优点。如：中国专利CN107188404公开的一种使用有机硅制备高质量光纤预制棒的方法，该方法通过控制喷灯和芯棒的相对移动速度、喷灯与芯棒的相对旋转速度、燃气与氧气的比例、有机硅载气比例和箱体内风速，最终优化OVD沉积第一层的反应温度，从而使得芯棒上第一层SiO2沉积物的粒径大小介于20nm～200nm、且粒径分布均匀，获得烧结后光棒界面质量好的光纤预制棒。为了克服传统光纤预制棒OVD沉积制备装置沉积效率和速率不高的问题，中国专利CN204644158公开了一种多...
【技术保护点】
1.一种气相沉积设备的喷灯机构，其特征在于：所述喷灯机构包括：内支架、灯调整器和喷射器，所述灯调整器位于所述内支架上，所述喷射器设置在所述灯调整器上，所述喷射器包括：喷灯架和喷灯，所述喷灯为多个，多个喷灯位于所述喷灯架上并且从上至下依次排列。
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积设备的喷灯机构，其特征在于：所述喷灯机构包括：内支架、灯调整器和喷射器，所述灯调整器位于所述内支架上，所述喷射器设置在所述灯调整器上，所述喷射器包括：喷灯架和喷灯，所述喷灯为多个，多个喷灯位于所述喷灯架上并且从上至下依次排列。2.根据权利要求1所述的气相沉积设备的喷灯机构，其特征在于：所述喷射器还包括：火焰检测器，所述火焰检测器为两个，一个火焰检测器位于所述喷灯架的上端，另一个火焰检测器位于所述喷灯架的下端。3.根据权利要求1所述的气相沉积设备的喷灯机构，其特征在于：所述灯调整器包括：调整座、调整电机、调整丝杆、调整丝杠座和调整螺母，所述调整座位于所述内支架上，所述调整电机固定在所述调整座上，所述调整丝杆通过所述调整...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾勇，张舞杰，谢长贵，邓锦飞，
申请(专利权)人：无锡市凯灵电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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