弹性波装置、高频前端电路以及通信装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不易产生谐振特性、滤波器特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置依次层叠有高声速构件、低声速膜、压电膜以及IDT电极，IDT电极具有交叉区域和第一外缘区域、第二外缘区域，交叉区域具有：中央区域，在第一电极指以及第二电极指延伸的方向上位于中央；以及第一内缘区域以及第二内缘区域，设置在中央区域的两外侧，第一电极指以及第二电极指的厚度在第一内缘区域以及第二内缘区域中设为比中央区域中的厚度厚，第一电极指以及第二电极指的被增厚的厚度增加部分由密度d为5.5g/cm

Elastic Wave Device, High Frequency Front End Circuit and Communication Device

The invention provides an elastic wave device which is not easy to produce the deterioration of resonance characteristics and filter characteristics. Elastic wave devices are successively stacked with high-speed components, low-speed film, piezoelectric film and IDT electrodes. IDT electrodes have a cross region and a first outer region and a second outer region. The cross region has a central region, which is located in the direction of the extension of the first and second electrode fingers; and the first inner region and the second inner region, which are located in the two central regions. On the outer side, the thickness of the first and second electrode fingers is thicker in the first inner edge region and the second inner edge region than in the central region. The thickness of the first and second electrode fingers is increased by 5.5g/cm in density D.

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
本专利技术涉及具有在高声速构件上层叠有低声速膜以及压电膜的构造的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。
技术介绍
下述的专利文献1示出了如下构造，即，在将IDT电极的电极指彼此相互交替插入的区域作为交叉区域的情况下，该交叉区域具有位于电极指延伸的方向中央的中央区域和设置在中央区域的两外侧的内缘区域。上述内缘区域的声速设为比中央区域慢。为了形成该内缘区域，电极指的厚度设为比中央区域中的电极指的厚度厚。在内缘区域的外侧进一步设置有外缘区域。记载了，由此，能够使施加于IDT电极的电位大体一致，进而使表面波的激发图谱(excitationprofile)与表面波的位移图谱(displacementprofile)大体一致，能够减小比基模高阶的横模纹波的影响。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-518455号公报像在专利文献1记载的那样，在仅由内缘区域、中央区域以及外缘区域的声速差形成了活塞模式的构造中，有时不能充分减小由横模造成的纹波。因此，谐振特性、滤波器特性有可能变差。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于，提供一种不易产生谐振特性、滤波器特性的劣化的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备：高声速构件，由高声速材料构成；低声速膜，层叠在所述高声速构件上，由低声速材料构成；压电膜，层叠在所述低声速膜上，由钽酸锂构成；以及IDT电极，设置在所述压电膜上，所述高声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高速的材料，所述低声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速低速的材料，所述IDT电极具有相互交替插入的多根第一电极指以及多根第二电极指，在将所述多根第一电极指和所述多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分作为交叉区域时，所述IDT电极具有所述交叉区域和在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上设置在所述交叉区域的两外侧的第一外缘区域、第二外缘区域，所述交叉区域具有中央区域和第一内缘区域以及第二内缘区域，所述中央区域在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上位于中央，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域设置在所述中央区域的所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向两外侧，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度设为比所述中央区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度厚，所述第一电极指以及所述第二电极指的设为比所述中央区域中的第一电极指以及第二电极指的厚度厚的厚度增加部分由密度d为5.5g/cm3以上的金属构成，且设为用T＝-0.1458d+4.8654表示的波长归一化膜厚T(％)以下的膜厚。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方式中，所述第一电极指以及所述第二电极指在所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中具有第一电极和层叠在所述第一电极上的第二电极，所述第二电极为所述第一电极指以及所述第二电极指的所述厚度增加部分。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，所述第一电极的占空比与所述第二电极的占空比相等。在该情况下，能够使用同一掩模等在第一电极上形成第二电极。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第二电极的占空比小于所述第一电极的占空比。在该情况下，在形成第二电极时，对第二电极的宽度方向上的位置偏移的允许度变大。因此，能够容易地形成第二电极。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一电极以Al为主成分。在该情况下，能够减小IDT电极的电阻损耗。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，所述第二电极由选自由Cu、Ta、Pt以及Au构成的组的一种金属构成。在该情况下，在设置第二电极而使第一内缘区域、第二内缘区域的膜厚增加的情况下，能够确保充分的相对带宽。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中的相对带宽小于所述中央区域中的相对带宽。在该情况下，能够更加有效地改善谐振特性、滤波器特性。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中的声速设为比所述中央区域的声速低，所述第一外缘区域以及所述第二外缘区域中的声速设为比所述第一内缘区域、所述第二内缘区域的声速高。在本专利技术涉及的弹性波装置中，所述高声速构件可以是高声速支承基板。此外，也可以还具备对所述高声速构件进行支承的支承基板。本专利技术涉及的高频前端电路具备按照本专利技术构成的弹性波装置和功率放大器。本专利技术涉及的通信装置具备按照本专利技术构成的高频前端电路和RF信号处理电路。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种弹性波装置，其具有层叠有高声速构件、低声速膜以及压电膜的构造，且在IDT电极中，在中央区域的两外侧构成了第一内缘区域以及第二内缘区域，在该弹性波装置中，不易产生滤波器特性、谐振特性的劣化。附图说明图1是用于说明本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置中的激发图谱和位移分布的示意图。图2是示出本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的电极构造的俯视图。图3是用于说明本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的设置有内缘区域的部分的层叠构造的简图式放大剖视图。图4是示出内缘区域中的激励强度Ψ2/中央区域中的激励强度Ψ1与有效耦合系数的关系的图。图5是示出IDT电极的交叉宽度方向上的位置与施加的电位的关系的图。图6是示意性地示出比较例中的交叉宽度方向上的位置与位移以及激励强度的关系的图。图7是示出第一实施方式的弹性波装置中的交叉宽度方向上的位置与位移以及激励强度的关系的示意图。图8是示出电极的密度与归一化相对带宽成为0.58的波长归一化膜厚T(％)的关系的图。图9是示出第二电极的波长归一化膜厚(％)与归一化相对带宽的关系的图。图10是示出实施例以及比较例的弹性波装置的相位-频率特性的图。图11是示出参考例的弹性波装置中的第二电极的波长归一化膜厚(％)与归一化相对带宽(％)的关系的图。图12是用于说明第二实施方式的弹性波装置的内缘区域中的层叠构造的简图式部分放大剖视图。图13是示出在第二实施方式中第二电极为Au的情况下的占空比之比与归一化相对带宽(％)的关系的图。图14是示出在第二实施方式中第二电极为Cu的情况下的占空比之比与归一化相对带宽(％)的关系的图。图15是示出在第二实施方式中第二电极为Pt的情况下的占空比之比与归一化相对带宽(％)的关系的图。图16是示出在第二实施方式中第二电极为Ta的情况下的占空比之比与归一化相对带宽(％)的关系的图。图17是用于说明第三实施方式的弹性波装置中的内缘区域的层叠构造的部分放大剖视图。图18是具有高频前端电路的通信装置的结构图。附图标记说明1：弹性波装置，2、2A：高声速构件，3：低声速膜，4：压电膜，5：IDT电极，6、7：反射器，11、12：第一汇流条以及第二汇流条，13、14：第一电极指以及第二电极指，13a、13b：第一电极以及第二电极，21、31：弹性波装置，32：支承基板，201A、201B：双工器，202：天线元件，203：RF信号处理电路，211、212：滤波器，214：低噪声放大器电路，221、222：滤波器，224：低噪声放大器电路本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：高声速构件，由高声速材料构成；低声速膜，层叠在所述高声速构件上，由低声速材料构成；压电膜，层叠在所述低声速膜上，由钽酸锂构成；以及IDT电极，设置在所述压电膜上，所述高声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高速的材料，所述低声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速低速的材料，所述IDT电极具有相互交替插入的多根第一电极指以及多根第二电极指，在将所述多根第一电极指和所述多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分作为交叉区域时，所述IDT电极具有所述交叉区域和在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上设置在所述交叉区域的两外侧的第一外缘区域、第二外缘区域，所述交叉区域具有中央区域和第一内缘区域以及第二内缘区域，所述中央区域在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上位于中央，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域设置在所述中央区域的所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向两外侧，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度设为比所述中央区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度厚，所述第一电极指以及所述第二电极指的设为比所述中央区域中的第一电极指以及第二电极指的厚度厚的厚度增加部分由密度d为5.5g/cm...

【技术特征摘要】
2017.11.13 JP 2017-2179071.一种弹性波装置，具备：高声速构件，由高声速材料构成；低声速膜，层叠在所述高声速构件上，由低声速材料构成；压电膜，层叠在所述低声速膜上，由钽酸锂构成；以及IDT电极，设置在所述压电膜上，所述高声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高速的材料，所述低声速材料为所传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速低速的材料，所述IDT电极具有相互交替插入的多根第一电极指以及多根第二电极指，在将所述多根第一电极指和所述多根第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分作为交叉区域时，所述IDT电极具有所述交叉区域和在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上设置在所述交叉区域的两外侧的第一外缘区域、第二外缘区域，所述交叉区域具有中央区域和第一内缘区域以及第二内缘区域，所述中央区域在所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向上位于中央，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域设置在所述中央区域的所述第一电极指以及所述第二电极指延伸的方向两外侧，所述第一内缘区域以及所述第二内缘区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度设为比所述中央区域中的所述第一电极指以及所述第二电极指的厚度厚，所述第一电极指以及所述第二电极指的设为比所述中央区域中的第一电极指以及第二电极指的厚度厚的厚度增加部分由密度d为5.5g/cm3以上的金属构成，且设为用T＝-0.1458d+4.8654表示的波长归一化膜厚T(％)以下的膜厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐治真理，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP