探针组件及其榫接式电容探针制造技术

本发明专利技术公开一种探针组件及其榫接式电容探针。榫接式电容探针包括一探针结构、一导电结构以及一介电结构。探针结构具有一探针本体以及一设置在探针本体上的第一卡接部。导电结构设置在探针结构的一侧，导电结构具有一对应于第一卡接部的第二卡接部，且导电结构通过第二卡接部而设置在探针结构的第一卡接部上。介电结构设置在探针结构与导电结构之间。

【技术实现步骤摘要】
探针组件及其榫接式电容探针
本专利技术涉及一种探针组件及其榫接式电容探针，特别是涉及一种应用于晶圆探针卡的探针组件及其榫接式电容探针。
技术介绍
首先，现有技术中系统单芯片(SystemonChip，SoC)于高速信号测试时，常会面临核心电源于使用频率点的目标阻抗值过高的问题，而导致阻抗值过高的原因有探针卡(ProbeCard)、转接基板(substrate)、探针座及晶圆探针等因素。因此，在现行的解决方式下，大多是聚焦于转接基板的优化，也就是通过适量的去耦合电容来改善供电网路(powerdeliverynetwork，PDN)的目标阻抗值。然而，此种优化方式虽然能够使得转接基板的阻抗值达到标准，但仍然会因为转接基板距离待测端较远的因素，而无法有效掌控整体供电网路。因此，如何提出一种能根据移动装置所需高速信号系统单芯片应用测试时，有效降低谐振频率点的电源阻抗且提升供电网路的效能的探针组件及其空间转换界面板，以克服上述的缺陷，已然成为本领域
人士所欲解决的重要课题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种探针组件及其空间转换界面板，以有效降低谐振频本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种榫接式电容探针，其特征在于，所述榫接式电容探针包括：一探针结构，所述探针结构具有一探针本体以及一设置在所述探针本体上的第一卡接部；一导电结构，所述导电结构设置在所述探针结构的一侧，所述导电结构具有一对应于所述第一卡接部的第二卡接部，且所述导电结构通过所述第二卡接部而设置在所述探针结构的所述第一卡接部上；以及一介电结构，所述介电结构设置在所述探针结构与所述导电结构之间。

【技术特征摘要】
1.一种榫接式电容探针，其特征在于，所述榫接式电容探针包括：一探针结构，所述探针结构具有一探针本体以及一设置在所述探针本体上的第一卡接部；一导电结构，所述导电结构设置在所述探针结构的一侧，所述导电结构具有一对应于所述第一卡接部的第二卡接部，且所述导电结构通过所述第二卡接部而设置在所述探针结构的所述第一卡接部上；以及一介电结构，所述介电结构设置在所述探针结构与所述导电结构之间。2.如权利要求1所述的榫接式电容探针，其特征在于，所述探针结构具有一对应于所述介电结构的裸露部，且所述探针结构通过所述裸露部而电性连接于所述导电结构，其中，所述介电结构具有一与所述探针结构相互接触的第一表面以及一与所述导电结构相互接触的第二表面。3.如权利要求1所述的榫接式电容探针，其特征在于，所述探针结构与所述导电结构彼此电性绝缘，且所述介电结构具有一与所述探针结构相互接触的第一表面以及一与所述导电结构相互接触的第二表面。4.如权利要求1所述的榫接式电容探针，其特征在于，所述介电结构设置在所述探针结构的所述第一卡接部与所述导电结构的所述第二卡接部之间。5.如权利要求1所述的榫接式电容探针，其特征在于，所述探针结构的电阻率小于5x102Ωm。6.如权利要求1所述的榫接式电容探针，其特征在于，所述导电结构的电阻率小于5x102Ωm。7.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢智鹏，苏伟志，
申请(专利权)人：中华精测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71