一种用于浓度测量的探针式电容传感器制造技术

一种探针式电容传感器，可用于气固两相流中颗粒浓度的测量，包括六个部分：探针（１）、套管（２）、绝缘层（３）、外屏蔽层（４）、内屏蔽层（５）、测量电路接口（６），由内到外结构为：探针（１），绝缘层（３），内屏蔽层（５），绝缘层（３），外屏蔽层（４），绝缘层（３），套管（２）。在传感器前部，探针（１）从主体部分伸出；在传感器尾部，传感器通过测量电路接口（６）与测量电路相连。本实用新型专利技术通过测定探针与套管间电容值，来实现对颗粒浓度的微扰测量，测量区域为探针伸出部分周围的区域。由于探针直径可以做得很细，故可以最大程度上降低了对流场的干扰，无测量区域的限制，结构紧凑结实，测量稳定。本实用新型专利技术也适用于两种不同介电常数物质组成的混合物中组分浓度的测量。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于浓度测量的探针式电容传感器，其特征在于，该传感器由探针（１）、套管（２）、绝缘层（３）、外屏蔽层（４）、内屏蔽层（５）、测量电路接口（６）六个部分组成，其中探针（１）、套管（２）、绝缘层（３）、外屏蔽层（４）、内屏蔽层（５）这五部分层层相套构成探针式电容传感器的主体部分，它们由内到外的结构顺序为：探针（１），绝缘层（３），内屏蔽层（５），绝缘层（３），外屏蔽层（４），绝缘层（３），套管（２）；在传感器前部，探针（１）从主体部分伸出；在传感器尾部，传感器通过测量电路接口（６）与外测量电路相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵香龙，李水清，姚强，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]