供给系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种供给系统，包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与供应装置相连接，另一端与喷嘴相连接；第一液体流量计，位于供液管路与喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与供液管路相连通；第二液体流量计，位于排液管路上。本实用新型专利技术的供给系统通过在喷嘴附近的供液管路上设置第一液体流量计，并在排液管路上设置第二液体流量计，可以实时监测喷涂到晶圆上的光刻胶的量及排液管路排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
供给系统
本技术属于集成电路
，特别是涉及一种供给系统。
技术介绍
在现有的光刻胶供给系统中，在使用喷嘴向晶圆表面喷涂光刻胶的同时，还需要在光刻胶达到喷嘴之前使用排液管路将供液管路内光刻胶中的气泡及杂质即使排出，以防止气泡及杂质被喷涂到晶圆表面而形成缺陷。在光刻胶喷涂过程中，光刻胶的使用量包括喷涂到晶圆表面的光刻胶的量以及排出气泡及杂质时排出的光刻胶的量。然而，现有的光刻胶供给系统并不能对光刻胶的使用量进行实时监测，这在光刻胶系统出现故障时很容易造成光刻胶的浪费损耗，从而导致生产成本的增加。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种供给系统，用于解决现有技术中的光刻胶供给系统无法对光刻胶的使用量进行实时监测，从而导致光刻胶浪费损耗，进而导致生产成本增加的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种供给系统，所述供给系统包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与所述喷嘴相连接；第一液体流量计，位于所述供液管路与所述喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与所述供液管路相连通；及第二液体流量计，位于所述排液管路上。作为本技术的一种优选方案，所述供应装置包括光刻胶供给瓶，所述液体包括光刻胶。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统包括：缓冲罐，位于所述供液管路上，且位于所述供应装置与所述喷嘴之间；过滤器，位于所述供液管路上，且位于所述缓冲罐与所述喷嘴之间；第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；及第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述喷嘴之间；所述排液管路包括：第一排液管路，一端经由所述缓冲罐与所述供液管路相连通；第二排液管路，一端经由所述过滤器与所述供液管路相连通；第三排液管路，一端经由所述第一捕集阱与所述供液管路相连通；第四排液管路，一端与所述第一排液管路远离所述缓冲罐的一端、所述第二排液管路远离所述过滤器的一端及所述第三排液管路远离所述第一捕集阱的一端相连接；及第五排液管路，一端经由所述第二捕集阱与所述供液管路相连通；所述第二液体流量计的数量为两个，其中一所述第二液体流量计位于所述第四排液管路上，另一所述第二液体流量计位于所述第五排液管路上；所述第一液体流量计位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统还包括厂务排液系统，所述厂务排液系统与所述第四排液管路远离所述第一排液管路、所述第二排液管路及所述第三排液管路的一端相连接，并与所述第五排液管路远离所述第二捕集阱的一端相连接。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统包括：缓冲罐，位于所述供液管路上，且位于所述供应装置与所述喷嘴之间；过滤器，位于所述供液管路上，且位于所述缓冲罐与所述喷嘴之间；第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；及第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述喷嘴之间；所述排液管路包括：第一排液管路，一端经由所述缓冲罐与所述供液管路相连通；第二排液管路，一端经由所述过滤器与所述供液管路相连通；第三排液管路，一端经由所述第一捕集阱与所述供液管路相连通；及第四排液管路，一端经由所述第二捕集阱与所述供液管路相连通；所述第二液体流量计的数量为四个，其中，四个所述第二液体流量计分别位于所述第一排液管路上、所述第二排液管路上、所述第三排液管路上及所述第四排液管路上；所述第一液体流量计位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统还包括厂务排液系统，所述厂务排液系统与所述第一排液管路远离所述缓冲罐的一端、所述第二排液管路远离所述过滤器的一端、所述第三排液管路远离所述第一捕集阱的一端及所述第四排液管路远离所述第二捕集阱的一端相连接。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统还包括供气管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与气体源相连接。作为本技术的一种优选方案，所述气体源包括氮气源。作为本技术的一种优选方案，所述供给系统还包括：抽液泵，位于所述供液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述第二捕集阱之间；及控制阀，位于所述供液管路上，且位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间；所述第一液体流量计位于所述控制阀与所述喷嘴之间。作为本技术的一种优选方案，所述控制阀包括气动阀。如上所述，本技术供给系统，具有以下有益效果：本技术的供给系统通过在喷嘴附近的供液管路上设置第一液体流量计，并在排液管路上设置第二液体流量计，可以实时监测喷涂到晶圆上的光刻胶的量及排液管路排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。附图说明图1显示为本技术实施例一中提供的供给系统的结构示意图。图2显示为本技术实施例二中提供的供给系统的结构示意图。图3显示为本技术实施例三中提供的供给系统的结构示意图。元件标号说明10供应管路11喷嘴12供液管路13第一液体流量计141第一排液管路142第二排液管路143第三排液管路144第四排液管路145第五排液管路15第二液体流量计16缓冲罐17过滤器18第一捕集阱19第二捕集阱20供气管路21气体源22抽液泵23控制阀具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。实施例一请参阅图1，本技术提供一种供给系统，所述供给系统包括：供应装置10，所述供应装置10可以用于提供液体；喷嘴11；供液管路12，所述供液管路12一端与所述供应装置10相连接，另一端与所述喷嘴11相连接；第一液体流量计13，所述第一液体流量计13位于所述供液管路12与所述喷嘴11相连接的一端处；排液管路，所述排液管路一端与所述供液管路12相连通；及第二液体流量计15，所述第二流量计15位于所述排液管路上。所述第一液体流量计13用于实时监测所述供液管路12供给至所述喷嘴11处的液体的流量，所述第二液体流量计15用于实时监测所述排液管路排出的液体的流量。作为示例，所述供应装置10可以包括光刻胶供给瓶，所述液体可以包括光刻胶。当然，在其他示例中，所述供给装置10可以包括显影液供给瓶，所述液体可以包括显影液；所述供给装置10还可以包括湿法刻蚀液供给瓶，所述液体可以包括湿法刻蚀液体。作为示例，所述供应装置10为所述光刻胶供给瓶时，所述供液管路12远离所述喷嘴11的一端插入至所述光刻胶供给瓶内。作为示例，所述供给系统包括：缓冲罐(L/Etank)16、过滤器(Filter)17、第一捕集阱(MiniTrap)18及第二捕集阱(OutTrap)19；其中，所述缓冲罐16位于所述供液管路12上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供给系统，其特征在于，所述供给系统包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与所述喷嘴相连接；第一液体流量计，位于所述供液管路与所述喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与所述供液管路相连通；及第二液体流量计，位于所述排液管路上。

【技术特征摘要】
1.一种供给系统，其特征在于，所述供给系统包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与所述喷嘴相连接；第一液体流量计，位于所述供液管路与所述喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与所述供液管路相连通；及第二液体流量计，位于所述排液管路上。2.根据权利要求1所述的供给系统，其特征在于，所述供应装置包括光刻胶供给瓶，所述液体包括光刻胶。3.根据权利要求1所述的供给系统，其特征在于，所述供给系统包括：缓冲罐，位于所述供液管路上，且位于所述供应装置与所述喷嘴之间；过滤器，位于所述供液管路上，且位于所述缓冲罐与所述喷嘴之间；第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；及第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述喷嘴之间；所述排液管路包括：第一排液管路，一端经由所述缓冲罐与所述供液管路相连通；第二排液管路，一端经由所述过滤器与所述供液管路相连通；第三排液管路，一端经由所述第一捕集阱与所述供液管路相连通；第四排液管路，一端与所述第一排液管路远离所述缓冲罐的一端、所述第二排液管路远离所述过滤器的一端及所述第三排液管路远离所述第一捕集阱的一端相连接；及第五排液管路，一端经由所述第二捕集阱与所述供液管路相连通；所述第二液体流量计的数量为两个，其中一所述第二液体流量计位于所述第四排液管路上，另一所述第二液体流量计位于所述第五排液管路上；所述第一液体流量计位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间。4.根据权利要求3所述的供给系统，其特征在于，所述供给系统还包括厂务排液系统，所述厂务排液系统与所述第四排液管路远离所述第一排液管路、所述第二排液管路及所述第三排液管路的一端相连接，并与所述第五排液管路远离所述第二捕集阱的一端相连接。5.根据权利要求1所述的供给系...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑义强，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34