一种真空磁控溅射用新型平面阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽取到冷却管路内，通过冷却管路可以对靶材和阴极罩的内部进行散热，通过散热管可以对吸热后的冷却液进行散热，并且通过抽气泵可以将气体抽取到冷凝器的内部，通过变阻器可以对电磁板磁力的大小进行调节，本真空磁控溅射用新型平面阴极结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便。

A New Planar Cathode for Vacuum Magnetron Sputtering

The utility model discloses a novel planar cathode for vacuum magnetron sputtering, which comprises a cathode cover. The inner center of the cathode cover is provided with a protective base. The lower surface of the cathode cover is connected with a copper back plate by bolt connection, and the upper surface of the copper back plate is evenly connected with a fixed magnet and an electromagnetic plate between the protective base. The cooling liquid can be stored in the tank through a pumping pump. Coolant is extracted into the cooling pipeline, which can heat the inside of the target material and cathode cover, the cooling fluid after heat absorption can be heat dissipated through the cooling pipeline, and the gas can be extracted into the inside of the condenser through the pumping pump. The magnitude of magnetic force of the electromagnetic plate can be adjusted by the rheostat. The new planar cathode for vacuum magnetron sputtering has simple structure. The utility model has the advantages of simple operation, convenient installation of the device, better cooling effect and more convenient adjustment of magnetic force.

【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射用新型平面阴极
本技术涉及磁场平面溅射靶
，具体为一种真空磁控溅射用新型平面阴极。
技术介绍
真空镀膜技术在微电子、航空航天、机械制造、食品包装等许多领域已广泛应用。磁控溅射镀膜具有低温、高速的特点，可长时间批量化生产，但是现有的平面阴极结构复杂，而且安装不便，并且对装置散热效果不好，使用不便，而且对磁力大小不能进行调节，为人们带来许多不便。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空磁控溅射用新型平面阴极，结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，铜背板的内部设有冷却管路，所述铜背板的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材，所述防护基座的上表面设有冷却液盛放箱和变阻器，变阻器的输出端电连接电磁板的输入端，所述阴极罩的上表面设有上端连接板，上端连接板的上表面设有抽气泵和冷凝器，所述抽气泵的出气口通过导管与冷凝器的进气口连接，冷凝器的出气口通过导管与连接外壳的进气口连接，连接外壳的内部设有散热管，散热管的进水口通过导管与冷却管路，阴极罩的一侧通过螺栓连接有抽水泵，抽水泵的进水口通过导管与冷却液盛放箱的一侧下端连接，冷却液盛放箱的上端进水口通过导管与散热管的出水口连接，所述抽水泵的出水口通过导管与冷却管路的进水口连接，所述上端连接板的上表面设有PLC控制器，PLC控制器的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器的输出端电连接抽水泵、冷凝器和变阻器的输入端。作为本技术的一种优选技术方案，所述靶材通过螺栓连接的方式与铜背板连接，并且靶材的下表面低于铜背板的下表面。作为本技术的一种优选技术方案，所述阴极罩的侧面中间通过焊接的方式连接有安装耳板，安装耳板上设有固定螺栓孔，固定螺栓孔的内侧设有内螺纹。作为本技术的一种优选技术方案，所述连接外壳为锥形结构，并且连接外壳的下端与上端连接板的上表面之间设有支撑柱。作为本技术的一种优选技术方案，所述散热管的螺旋结构，并且散热管与连接外壳的内侧相互贴合，并且散热管的外侧通过焊接的方式连接有散热板。作为本技术的一种优选技术方案，所述固定磁铁的个数不少于三个，并且电磁板的个数不少于两个，并且固定磁铁和电磁板间隔分布。作为本技术的一种优选技术方案，所述铜背板的上表面均匀焊接有吸热板，吸热板位于阴极罩的内部。作为本技术的一种优选技术方案，所述防护基座通过螺栓连接的方式与阴极罩连接，防护基座的侧面与阴极罩的内侧之间设有封闭圈。作为本技术的一种优选技术方案，所述冷却管路位于铜背板的中间，并且冷却管路为S型结构。作为本技术的一种优选技术方案，所述安装耳板的个数为四个，四个安装耳板分别位于阴极罩的四角。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术上设置了抽水泵，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽取到冷却管路内，通过冷却管路可以对靶材和阴极罩的内部进行散热，使得散热更加方便，且通过吸热板可以对阴极罩的内部进行辅助散热，使得散热效果更好。2、本技术上设置了散热管，通过散热管可以对吸热后的冷却液进行散热，并且通过抽气泵可以将气体抽取到冷凝器的内部，然后通过冷凝器冷却后的气体进入到连接外壳内部，以此对散热管进行冷却，使得对冷却液的冷却效果更好。3、本技术上设置了变阻器，通过变阻器可以对电磁板磁力的大小进行调节，使得对磁力的调节更加方便，为人们提供方便，且通过电磁板和固定磁铁间隔分布，来使得磁力更加均匀，使得装置产生的效果更好，为人们提供了方便。4、本技术上设置了安装耳板，通过安装耳板可以对装置进行安装，使得对装置安装更加方便，本真空磁控溅射用新型平面阴极结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术侧面结构示意图；图3为本技术剖面结构示意图。图中：1抽气泵、2连接外壳、3散热管、4铜背板、5安装耳板、6阴极罩、7冷凝器、8上端连接板、9电磁板、10靶材、11冷却管路、12固定磁铁、13吸热板、14防护基座、15冷却液盛放箱、16抽水泵、17PLC控制器、18变阻器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩6，阴极罩6的内部中间设有防护基座14，阴极罩6的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板4，铜背板4的上表面与防护基座14之间均匀连接有固定磁铁12和电磁板9，铜背板4的内部设有冷却管路11，铜背板4的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材10，防护基座14的上表面设有冷却液盛放箱15和变阻器18，变阻器18的输出端电连接电磁板9的输入端，通过变阻器18可以对电磁板9磁力的大小进行调节，使得对磁力的调节更加方便，阴极罩6的上表面设有上端连接板8，上端连接板8的上表面设有抽气泵1和冷凝器7，抽气泵1的出气口通过导管与冷凝器7的进气口连接，冷凝器7的出气口通过导管与连接外壳2的进气口连接，连接外壳2的内部设有散热管3，通过散热管3可以对吸热后的冷却液进行散热，散热管3的进水口通过导管与冷却管路11，阴极罩6的一侧通过螺栓连接有抽水泵16，抽水泵16的进水口通过导管与冷却液盛放箱15的一侧下端连接，冷却液盛放箱15的上端进水口通过导管与散热管3的出水口连接，抽水泵16的出水口通过导管与冷却管路11的进水口连接，通过抽水泵16可以将冷却液盛放箱15中的冷却液抽取到冷却管路11内，通过冷却管路11可以对靶材10和阴极罩6的内部进行散热，使得散热更加方便，通过抽气泵1可以将气体抽取到冷凝器7的内部，然后通过冷凝器7冷却后的气体进入到连接外壳2内部，以此对散热管3进行冷却，上端连接板8的上表面设有PLC控制器17，PLC控制器17的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器17的输出端电连接抽水泵16、冷凝器7和变阻器18的输入端，靶材10通过螺栓连接的方式与铜背板4连接，并且靶材10的下表面低于铜背板4的下表面，阴极罩6的侧面中间通过焊接的方式连接有安装耳板5，安装耳板5上设有固定螺栓孔，固定螺栓孔的内侧设有内螺纹，安装耳板5的个数为四个，四个安装耳板5分别位于阴极罩6的四角，通过安装耳板5可以对装置进行安装，使得对装置安装更加方便，连接外壳2为锥形结构，并且连接外壳2的下端与上端连接板8的上表面之间设有支撑柱，通过支撑柱可以对连接外壳2进行支撑，使得对连接外壳2支撑更加牢固，散热管3的螺旋结构，并且散热管3与连接外壳2的内侧相互贴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩(6)，其特征在于：所述阴极罩(6)的内部中间设有防护基座(14)，所述阴极罩(6)的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板(4)，铜背板(4)的上表面与防护基座(14)之间均匀连接有固定磁铁(12)和电磁板(9)，铜背板(4)的内部设有冷却管路(11)，所述铜背板(4)的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材(10)，所述防护基座(14)的上表面设有冷却液盛放箱(15)和变阻器(18)，变阻器(18)的输出端电连接电磁板(9)的输入端，所述阴极罩(6)的上表面设有上端连接板(8)，上端连接板(8)的上表面设有抽气泵(1)和冷凝器(7)，所述抽气泵(1)的出气口通过导管与冷凝器(7)的进气口连接，冷凝器(7)的出气口通过导管与连接外壳(2)的进气口连接，连接外壳(2)的内部设有散热管(3)，散热管(3)的进水口通过导管与冷却管路(11)，阴极罩(6)的一侧通过螺栓连接有抽水泵(16)，抽水泵(16)的进水口通过导管与冷却液盛放箱(15)的一侧下端连接，冷却液盛放箱(15)的上端进水口通过导管与散热管(3)的出水口连接，所述抽水泵(16)的出水口通过导管与冷却管路(11)的进水口连接，所述上端连接板(8)的上表面设有PLC控制器(17)，PLC控制器(17)的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器(17)的输出端电连接抽水泵(16)、冷凝器(7)和变阻器(18)的输入端。...

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩(6)，其特征在于：所述阴极罩(6)的内部中间设有防护基座(14)，所述阴极罩(6)的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板(4)，铜背板(4)的上表面与防护基座(14)之间均匀连接有固定磁铁(12)和电磁板(9)，铜背板(4)的内部设有冷却管路(11)，所述铜背板(4)的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材(10)，所述防护基座(14)的上表面设有冷却液盛放箱(15)和变阻器(18)，变阻器(18)的输出端电连接电磁板(9)的输入端，所述阴极罩(6)的上表面设有上端连接板(8)，上端连接板(8)的上表面设有抽气泵(1)和冷凝器(7)，所述抽气泵(1)的出气口通过导管与冷凝器(7)的进气口连接，冷凝器(7)的出气口通过导管与连接外壳(2)的进气口连接，连接外壳(2)的内部设有散热管(3)，散热管(3)的进水口通过导管与冷却管路(11)，阴极罩(6)的一侧通过螺栓连接有抽水泵(16)，抽水泵(16)的进水口通过导管与冷却液盛放箱(15)的一侧下端连接，冷却液盛放箱(15)的上端进水口通过导管与散热管(3)的出水口连接，所述抽水泵(16)的出水口通过导管与冷却管路(11)的进水口连接，所述上端连接板(8)的上表面设有PLC控制器(17)，PLC控制器(17)的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器(17)的输出端电连接抽水泵(16)、冷凝器(7)和变阻器(18)的输入端。2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射用新型平面阴极，其特征在于：所述靶材(10)通过螺栓连接的方式与铜背板(4)连接，并且靶材(10)的下表面低于...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32