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本实用新型公开了一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽...
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