一种硅片清洗机用废液收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块，固定块内设有凹槽，所述固定块内侧壁通过弹簧连接有弧形的定位挡板，定位挡板对称分布在固定块的内部，所述定位挡板之间连接有收集罐，收集罐的高度等于1/2固定块的高度。该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐，将收集罐放置在硅片清洗机出水口处，可通过水泵将硅片清洗机清洗硅片产生的废水抽吸到收集罐内，从而可完成废水的收集，且收集罐设在移动推车上，可方便收集罐的移动。

A Waste Liquid Collection Device for Silicon Wafer Cleaner

The utility model discloses a waste liquid collecting device for a silicon wafer cleaning machine, which comprises a silicon wafer cleaning machine and a collecting tank. On one side of the silicon wafer cleaning machine, a water outlet is connected with a pump through a connecting pipe. The collecting tank is provided with a sealing cover, and a connecting pipe is connected between the sealing cover and the water pump. The collecting tank is provided with a fixing block and a groove in the fixing block. The inner wall of the fixing block is connected with an arc-shaped positioning baffle through a spring, and the positioning baffle is symmetrically distributed in the inside of the fixing block. The positioning baffle is connected with a collecting tank, and the height of the collecting tank is equal to the height of 1/2 of the fixing block. The waste liquid collecting device for the silicon wafer cleaning machine is equipped with a collecting tank, which is placed at the outlet of the silicon wafer cleaning machine. The waste water generated by the silicon wafer cleaning machine can be sucked into the collecting tank through a water pump, so that the waste water can be collected, and the collecting tank is arranged on a mobile cart to facilitate the movement of the collecting tank.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机用废液收集装置
本技术涉及硅片清洗机
，具体为一种硅片清洗机用废液收集装置。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，硅片清洗通常采用硅片清洗机进行湿法清洗。现有的硅片清洗机在清洗硅片后会产生大量的废水，通常这些废水会直接排出，会产生水资源的浪费，可将这些废水收集起来，经过处理可进行二次利用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片清洗机用废液收集装置，以解决上述
技术介绍
中提出的硅片清洗机在清洗硅片后废水会直接排出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块，固定块内设有凹槽，所述固定块内侧壁通过弹簧连接有弧形的定位挡板，定位挡板对称分布在固定块的内部，所述定位挡板之间连接有收集罐，收集罐的高度等于1/2固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：包括硅片清洗机(1)和收集罐(3)，所述硅片清洗机(1)一侧设有出水口(10)，出水口(10)通过连接水管(2)连接有水泵(9)，所述收集罐(3)上设有密封盖(4)，密封盖(4)与水泵(9)之间连接有连接水管(2)，所述收集罐(3)上设有固定块(5)，固定块(5)内设有凹槽，所述固定块(5)内侧壁通过弹簧(13)连接有弧形的定位挡板(11)，定位挡板(11)对称分布在固定块(5)的内部，所述定位挡板(11)之间连接有收集罐(3)，收集罐(3)的高度等于1/2固定块(5)的高度。

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：包括硅片清洗机(1)和收集罐(3)，所述硅片清洗机(1)一侧设有出水口(10)，出水口(10)通过连接水管(2)连接有水泵(9)，所述收集罐(3)上设有密封盖(4)，密封盖(4)与水泵(9)之间连接有连接水管(2)，所述收集罐(3)上设有固定块(5)，固定块(5)内设有凹槽，所述固定块(5)内侧壁通过弹簧(13)连接有弧形的定位挡板(11)，定位挡板(11)对称分布在固定块(5)的内部，所述定位挡板(11)之间连接有收集罐(3)，收集罐(3)的高度等于1/2固定块(5)的高度。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置，其特征在于：所述固定块(5)下端固定连接有支撑板(12)，支撑板(12)下端两侧设有第二液压杆(8)，且第二液压杆(8)位于支撑板...

【专利技术属性】
技术研发人员：周尤，韦树喜，韦海玉，
申请(专利权)人：河北万维克林精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13