一种半导体石英舟的高效清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体石英舟的高效清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的下表面固定连接有一组支撑座，所述清洗箱的内部开设有两个相互对称的滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块相对的一侧均固定连接有L形板，两个所述L形板的顶部固定连接有下半圆安装筒，所述下半圆安装筒的上表面铰接有上半圆安装筒。该半导体石英舟的高效清洗装置，通过设置橡胶保护垫，对放置在两个半圆安装筒内的石英舟进行保护，避免因上下移动时，石英舟的晃动导致其损坏，通过设置滤网，对经抽水管从清洗箱内抽取的水进行过滤，避免浸泡清洗后的清洗液内含有的微粒被再次抽取喷洗，提高了装置的实用性以及保证清洗的效果。提高了装置的实用性以及保证清洗的效果。提高了装置的实用性以及保证清洗的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体石英舟的高效清洗装置


[0001]本技术属于清洗机
，具体涉及一种半导体石英舟的高效清洗装置。

技术介绍

[0002]石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石。石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和300度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸，硝酸，盐酸，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小。石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。
[0003]硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺，由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量，通常在对石英舟清洗时，大多采用人工往清洗槽内放置，以浸泡的方式进行清洗，但是浸泡清洗的方式难以彻底去除石英舟表面的微粒，导致清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体石英舟的高效清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的下表面固定连接有一组支撑座(2)，所述清洗箱(1)的内部开设有两个相互对称的滑槽(3)，两个所述滑槽(3)的内部均滑动连接有滑块(4)，两个所述滑块(4)相对的一侧均固定连接有L形板(5)，两个所述L形板(5)的顶部固定连接有下半圆安装筒(6)，所述下半圆安装筒(6)的上表面铰接有上半圆安装筒(7)，所述下半圆安装筒(6)与所述上半圆安装筒(7)的内壁均固定连接有橡胶保护垫(8)，所述下半圆安装筒(6)与所述上半圆安装筒(7)的外表面均开设有一组通孔(9)；所述清洗箱(1)的外侧固定连接有安装架(10)，所述安装架(10)的内侧固定连接有驱动电机(11)，所述驱动电机(11)的输出端固定连接有转轴(12)，所述转轴(12)的右端固定连接有转盘(13)，所述转盘(13)的右侧面固定连接有固定柱(14)，所述固定柱(14)的外表面套设有套筒(15)，所述套筒(15)的外表面固定连接有连杆(16)，所述连杆(16)的底端与所述L形板(5)的上表面铰接，所述清洗箱(1)的外侧固定连接有水泵(17)，所述水泵(17)的输入端连通有抽水管(18)，所述抽水管(18)贯穿所述清洗箱(1)，所述水泵(17)的输出端连通有排水管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：周尤，
申请(专利权)人：河北万维克林精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：