【技术实现步骤摘要】
一种清洗干燥晶片用的花篮
本专利技术属于晶片领域，具体涉及一种清洗干燥晶片用的花篮。
技术介绍
在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。花篮装置作为清洗时固定晶圆片的装置而使用。目前的花篮装置通常自一侧进气干燥，另一相对侧出气，干燥不均匀，干燥效率低。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种清洗干燥晶片用的花篮，本专利技术能够将晶片稳定承置，并通过通气管道的布设，提高干燥效果和效率。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。优选地，所述通气管道的两端均超出所述侧板的边缘，所述通气管道的两端均通入干燥用气体。优选地，所述通气管道的数量为2个，分别布设在两个所述侧板上。优选地，所述出气孔均匀分布在所述通气管道上。优选地，所述花篮还包括：锁定装置，用来锁定或者松开所述晶片。优选地，所述锁定装置包括：转轴，所述转轴上设置缺口段；旋转气缸，所述旋转...
【技术保护点】
1.一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽（11）的侧板（1），两两相对的所述凹槽（11）之间放置所述晶片，其特征在于，所述花篮还包括：通气管道（2），所述通气管道（2）设置在所述侧板（1）的中部位置，所述通气管道（2）上开设有若干出气孔（21）。
【技术特征摘要】
1.一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽（11）的侧板（1），两两相对的所述凹槽（11）之间放置所述晶片，其特征在于，所述花篮还包括：通气管道（2），所述通气管道（2）设置在所述侧板（1）的中部位置，所述通气管道（2）上开设有若干出气孔（21）。2.根据权利要求1所述的清洗干燥晶片用的花篮，其特征在于，所述通气管道（2）的两端均超出所述侧板（1）的边缘，所述通气管道（2）的两端均通入干燥用气体。3.根据权利要求1所述的清洗干燥晶片用的花篮，其特征在于，所述通气管道（2）的数量为2个，分别布设在两个所述侧板（1）上。4.根据权利要求1所述的清洗干燥晶片用的花篮，其特征在于，所述出气孔（21）均匀分布在所述通气管道（2）上。5.根据权利要求1所述的清洗干燥...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈景韶，葛林五，葛林新，李杰，丁高生，林生海，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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