一种曝光设备及曝光方法技术

本发明专利技术涉及直写曝光设备技术领域，公开一种曝光设备及曝光方法。该曝光设备包括多个工作台，每个所述工作台被配置为能够带动放置在其上的待扫描件沿平面内的第一方向移动；多个所述曝光单元沿所述工作台的运动方向间隔设置，且被配置为能够沿平面内的第二方向移动扫描所述待扫描件，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述工作台的数量与所述曝光单元的数量相等。通过将曝光单元设置为多个曝光单元，且工作台的数量与曝光单元的数量相等，各工作台可以同时工作，互不影响，提高了工作效率，降低了工人的时间成本。

An Exposure Equipment and Exposure Method

The invention relates to the technical field of direct writing exposure equipment, and discloses an exposure device and an exposure method. The exposure device includes a plurality of workbenches, each of which is configured to drive the scanned parts placed on the workbench to move in the first direction in the plane; the plurality of exposure units are arranged at intervals along the moving direction of the workbench, and are configured to be able to move and scan the scanned parts in the second direction in the plane, the second direction being perpendicular to the first direction. The number of workbenches is equal to the number of exposure units. By setting exposure units into multiple exposure units, and the number of workbenches is equal to the number of exposure units, each workbench can work at the same time without affecting each other, thus improving the work efficiency and reducing the time cost of workers.

【技术实现步骤摘要】
一种曝光设备及曝光方法
本专利技术涉及直写曝光设备
，尤其涉及一种曝光设备及曝光方法。
技术介绍
直写式光刻机设备又称为影像直接转移设备，可以应用于半导体等生产领域。区别于传统半自动曝光设备，它利用图形发生器取代传统光刻机的掩模板，从而可以直接将计算机的图形数据曝光到晶圆上，节省制板时间和制作掩模板的费用。如图1所示，当前的双台面曝光设备上设置有第一工作台31’和第二工作台32’，但是只设置有一套曝光单元2＇，因此，在工作时，第一工作台31’和第二工作台32’只能交替工作，第一工作台31’的扫描工作完成后，才能进行第二工作台32’上的扫描。其次，由于每个曝光头201＇的曝光宽度为a＇，第一工作台31’或者第二工作台32’经一次扫描后，不能呈现出完整的图形，相邻两个曝光头201＇之间存在未曝光的区域b＇，因此，每一工作台3＇均需要经过多次曝光才能拼接成完整的图形，这样就导致了曝光设备的曝光效率较低，且第一工作台31’和第二工作台32’只能交替工作，大大影响了作业进度，工人的时间成本增加。除此之外，现有的曝光设备考虑到经济成本以及实际使用情况，曝光单元2＇上设置的曝光头201＇的数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光设备，其特征在于，包括：多个工作台(3)，每个所述工作台(3)被配置为能够带动放置在其上的待扫描件沿平面内的第一方向移动；曝光单元(2)，所述曝光单元(2)设置有多个，多个所述曝光单元(2)沿所述工作台(3)的运动方向间隔设置，且被配置为能够沿平面内的第二方向移动扫描所述待扫描件，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述工作台(3)的数量与所述曝光单元(2)的数量相等。

【技术特征摘要】
1.一种曝光设备，其特征在于，包括：多个工作台(3)，每个所述工作台(3)被配置为能够带动放置在其上的待扫描件沿平面内的第一方向移动；曝光单元(2)，所述曝光单元(2)设置有多个，多个所述曝光单元(2)沿所述工作台(3)的运动方向间隔设置，且被配置为能够沿平面内的第二方向移动扫描所述待扫描件，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述工作台(3)的数量与所述曝光单元(2)的数量相等。2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光设备还包括支撑板(1)，所述支撑板(1)包括上下连接的上板(101)和下板(102)，所述曝光单元(2)滑动连接在所述上板(101)上，所述工作台(3)滑动连接在所述下板(102)上。3.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光单元(2)设置有两个，包括第一曝光单元(21)和第二曝光单元(22)；所述工作台(3)包括第一工作台(31)和第二工作台(32)。4.根据权利要求3所述的曝光设备，其特征在于，所述上板(101)上设置有第一横梁(11)和第二横梁(12)，所述第一曝光单元(21)滑动连接在所述第一横梁(11)上，所述第二曝光单元(22)滑动连接在所述第二横梁(12)上。5.根据权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，所述第一横梁(11)上设置有第一滑轨，所述第一曝光单元(21)滑动连接在所述第一滑轨上，所述第一曝光单元(21)与第一驱动件的输出端相连，所述第一驱动件被配置为能够驱动所述第一曝光单元(21)在第一滑轨上做步进运动；所述第二横梁(...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，王友车，王志，
申请(专利权)人：苏州微影激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32