一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法技术

本发明专利技术提供了一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，包括以下步骤：1）根据预先定义的DMD使用区域对DMD进行区间划分；2）根据每个区域的使用周期，根据使用周期来调整下一个所使用的DMD区域；3）根据DMD使用区域，计算出DMD成像区域；4）调整激光直接成像设备的DMD位置，使得DMD成像区域变为激光照射区域。与现有技术相比，本发明专利技术提供一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，对DMD进行区间划分，通过调整DMD成像区域以及激光照射区域，从而提高DMD的使用寿命，降低更换DMD所带来的巨大浪费和成本。所带来的巨大浪费和成本。所带来的巨大浪费和成本。

【技术实现步骤摘要】
一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法


[0001]本专利技术涉及激光直接成像曝光设备
，特别是一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法。

技术介绍

[0002]激光直接成像领域，为了提高DMD单位面积内激光能量的照射强度以及最大限度地提高DMD的翻转速率，如图1所示，通常做法是将激光集中照射在DMD物理区域的某一段区间A上。实际使用过程中，如果激光的长期照射，DMD区间A内的镜片阵列的折射率就会逐渐衰损，当激光照射强度越大，衰损的速度也就越快，业内通常给出的DMD使用寿命是7000~10000小时，也就意味着寿命结束就需要更换DMD芯片。众所周知，DMD芯片价格昂贵，一台激光直接成像设备如果全部更换掉DMD芯片，价格不菲。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术提供了一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，通过调整DMD成像区域以及激光照射区域，从而提高DMD的使用寿命，降低更换DMD所带来的巨大浪费和成本。
[0004]本专利技术采用的技术方案为：一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）根据预先定义的DMD使用区域对DMD进行区间划分；2）根据每个区域的使用周期，根据使用周期来调整下一个所使用的DMD区域；3）根据DMD使用区域，计算出DMD成像区域；4）调整激光直接成像设备的DMD位置，使得DMD成像区域变为激光照射区域。
[0005]优选地，步骤1）中将DMD通过底板和盖板装夹在激光直接成像设备上。
[0006]更优选地，所述底板上设有用于安放DMD的安放槽和用于与盖板装夹的活动槽孔。
[0007]更优选地，所述盖板上设有与安放槽对应的开口槽以及与活动槽孔配合的螺栓。
[0008]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：本专利技术提供一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，对DMD进行区间划分，通过调整DMD成像区域以及激光照射区域，从而提高DMD的使用寿命，降低更换DMD所带来的巨大浪费和成本。
附图说明
[0009]图1，现有DMD的照射区域；图2，本专利技术提供一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法中底板示意图；图3，为本专利技术提供一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法中盖板示意图；
图4，为1080P系列DMD的分区示意图；图5，为1080P系列DMD中曝光区间B示意图；图6，为1080P系列DMD中曝光区间A示意图；图7，为1080P系列DMD中曝光区间C示意图；图8，为激光照射1080P系列DMD的示意图。
具体实施方式
[0010]根据附图对本专利技术提供的优选实施方式做具体说明。
[0011]本专利技术提供一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）根据预先定义的DMD使用区域对DMD进行区间划分；2）根据每个区域的使用周期，根据使用周期来调整下一个所使用的DMD区域；3）根据DMD使用区域，计算出DMD成像区域；4）调整激光直接成像设备的DMD位置，使得DMD成像区域变为激光照射区域；这样对DMD进行区间划分，通过调整DMD成像区域以及激光照射区域，从而提高DMD的使用寿命，降低更换DMD所带来的巨大浪费和成本。
[0012]步骤1）中将DMD通过底板和盖板装夹在激光直接成像设备上；如图2所示，所述底板10上设有用于安放DMD的安放槽11和用于与盖板装夹的活动槽孔12；如图3所示，所述盖板20上设有与安放槽对应的开口槽21以及与活动槽孔配合的螺栓22。
[0013]以1080P系列的DMD为例，其他系列DMD原理相同；该1080P系列的DMD使用方法具体为：1）如图4所示，将1080P的DMD进行区间等分，划分为3个区间，分别为曝光区间A、曝光区间B、曝光区间C，三个区间都为3.36mm；2）根据使用周期来调整下一个所使用的DMD区域；3）根据DMD使用区域，计算出DMD成像区域的左右靠边间距为0.24mm，区间列偏移间距为3.54mm，输入数据按左右间距和列偏移即可将曝光区间分别显示在对应的3个成像区域中。
[0014]如图5所示，在使用时，曝光区间B同原方案位置相同，无变化；如图6所示，曝光区间A是将曝光区间B整体往上平行列偏移3.54mm，距离边框和B曝光区间间距都为0.18mm，行左右靠边间距为0.24mm；如图7所示，曝光区间C是将曝光区间B整体往下平行列偏移3.54mm，距离边框和B曝光区间间距都为0.18mm，行左右靠边间距为0.24mm；根据所要显示的成像区域，动态调整到激光的照射区间，如图8所示。
[0015]综上所述，本专利技术的技术方案可以充分有效的实现上述专利技术目的，且本专利技术的结构及功能原理都已经在实施例中得到充分的验证，能达到预期的功效及目的，在不背离本专利技术的原理和实质的前提下，可以对专利技术的实施例做出多种变更或修改。因此，本专利技术包括一切在专利申请范围中所提到范围内的所有替换内容，任何在本专利技术申请专利范围内所作的等效变化，皆属本案申请的专利范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高DMD在激光直接成像设备上使用寿命的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）根据预先定义的DMD使用区域对DMD进行区间划分；2）根据每个区域的使用周期，根据使用周期来调整下一个所使用的DMD区域；3）根据DMD使用区域，计算出DMD成像区域；4）调整激光直接成像设备的DMD位置，使得DMD成像区域变为激光照射区域。2.根据权利要求1所述的提高DMD在激光直接成像设备上使用...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，王志，朱华东，
申请(专利权)人：苏州微影激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：