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本发明涉及直写曝光设备技术领域，公开一种曝光设备及曝光方法。该曝光设备包括多个工作台，每个所述工作台被配置为能够带动放置在其上的待扫描件沿平面内的第一方向移动；多个所述曝光单元沿所述工作台的运动方向间隔设置，且被配置为能够沿平面内的第二方向...
该专利属于苏州微影激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微影激光技术有限公司授权不得商用。

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