【技术实现步骤摘要】
阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置
本专利技术涉及显示
,更具体地,涉及一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置。
技术介绍
人的感觉器官中接受信息最多的是视觉器官(眼睛),在生产和生活中,人们需要越来越多地利用丰富的视觉信息,因而显示技术在当今人类社会中扮演着非常重要的角色。显示技术自出现至今,技术发展也非常迅猛,先后出现了阴极射线管(CRT)显示技术、等离子体(PDP)显示技术、液晶(LCD)显示技术,乃至最新的有机发光(OLED)显示技术、微型二极管(microLED)显示技术。现有技术提供的一种显示面板包括绑定区,绑定区中设置有绑定焊盘,绑定区用于绑定芯片或者柔性线路板。现有技术提供的面板,常常出现相邻的两个焊盘短接的现象,降低了显示面板的合格率和显示品质。因此,如何不断提高显示面板的合格率,提升显示品质是研发人员的重要研究方向。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供了一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置,以解决现有技术提出的问题。一方面,本专利技术提供了一种阵列基板的制作方法,阵列基板包括显示区以及围绕显示区设置的非显示区,非显示区 ...
【技术保护点】
1.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,所述阵列基板包括显示区以及围绕所述显示区设置的非显示区,所述非显示区包括绑定区,所述绑定区包括多个沿第一方向排列的导电焊盘,所述导电焊盘包括金属导电部和透明导电部;所述制作方法包括:提供衬底基板;于所述衬底基板上形成第一绝缘层;形成第一金属层,所述第一金属层包括多个所述金属导电部,所述金属导电部设置于所述第一绝缘层的表面;形成平坦层,所述平坦层图案化设置于所述第一金属层的表面,并在所述平坦层上开设第一过孔,以使所述金属导电部的表面露出;形成第二绝缘层,所述第二绝缘层图案化设置于所述第一金属层和所述平坦层的表面,在所述第二绝缘层上开设第 ...
【技术特征摘要】
1.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,所述阵列基板包括显示区以及围绕所述显示区设置的非显示区,所述非显示区包括绑定区,所述绑定区包括多个沿第一方向排列的导电焊盘,所述导电焊盘包括金属导电部和透明导电部;所述制作方法包括:提供衬底基板;于所述衬底基板上形成第一绝缘层;形成第一金属层,所述第一金属层包括多个所述金属导电部,所述金属导电部设置于所述第一绝缘层的表面;形成平坦层,所述平坦层图案化设置于所述第一金属层的表面,并在所述平坦层上开设第一过孔,以使所述金属导电部的表面露出;形成第二绝缘层,所述第二绝缘层图案化设置于所述第一金属层和所述平坦层的表面,在所述第二绝缘层上开设第二过孔,以使所述金属导电部表面的至少部分露出,在所述第二绝缘层上开设第三过孔,以使所述平坦层露出,形成平坦层柱;形成透明导电层,所述透明导电层包括多个所述透明导电部,所述透明导电部设置于所述第二绝缘层的表面,且通过所述第二过孔与所述金属导电部电连接,以使所述透明导电部和所述金属导电部形成所述导电焊盘。2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述平坦层通过半色调掩膜板图案化设置于所述第一金属层的表面,以使沿垂直于所述衬底基板的方向上,多个所述平坦层柱之间的高度至少部分不同。3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述平坦层还包括位于所述显示区的第一子部,沿垂直于所述衬底基板的方向上,至少部分所述平坦层柱的高度小于所述第一子部的高度。4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,沿垂直于所述衬底基板的方向上,所述透明导电部的正投影覆盖所述金属导电部的正投影。5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,沿所述第一方向上,所述平坦层柱靠近所述衬底基板一侧的宽度为L1,在所述第二绝缘层上开设所述第三过孔时,所述第三过孔靠近所述衬底基板一侧的宽度为L2;其中L2≥L1。6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述制作方法还包括形成薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管,且所述薄膜晶体管的漏极和所述金属导电部同层形成。7.一种阵列基板,其特征在于,包括显示区以及围绕所述显示区...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏晓丽,李东华,周秀峰,沈柏平,
申请(专利权)人:厦门天马微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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