一种用于磷酸机台温度控制的管路设备制造技术

本发明专利技术提供一种用于磷酸机台温度控制的管路设备，直供槽的第一进液口与第一缓冲槽的出液口连接；直供槽的出液口与其第二进液口连接构成主循环回路，该回路中连接有数个作业腔；作业腔连接有第一、第二开关阀；第一开关阀连接一排放口；第二开关阀与回收槽的进液口连接；第二缓冲槽；回收槽出液口与第二缓冲槽进液口连接；第二缓冲槽出液口连接于第一缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路；第二缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。本发明专利技术通过在第二缓冲槽与直供槽之间的管路上增加冷却装置，降低磷酸进直供槽的初始温度，减少缓冲槽与直供槽之间的温度差，有效的控制了直供槽中磷酸的温度，报警概率降低。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磷酸机台温度控制的管路设备
本专利技术涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种用于磷酸机台温度控制的管路设备。
技术介绍
如图1所示，图1显示为现有技术中的磷酸机台药液循环装置示意图。该装置中包含：具有进液口和出液口的第一缓冲槽6；具有第一、第二进液口及出液口的直供槽9；所述第一缓冲槽6的进液口和出液口分别连接有管路；所述直供槽9的第一进液口通过管路与所述第一缓冲槽6的出液口连接；所述直供槽9的出液口通过管路与其第二进液口连接构成主循环回路10，该主循环回路10的管路中连接有数个作业腔5；所述作业腔5连接有第一、第二开关阀4；所述第一开关阀4连接一排放口11；设有进液口和出液口的回收槽8；所述第二开关阀4通过管路与所述回收槽8的进液口连接；具有进液口和出液口的第二缓冲槽7；所述回收槽8的出液口通过管路与所述第二缓冲槽7的进液口连接；所述第二缓冲槽7的出液口连接于所述第一缓冲槽6的出液口与所述直供槽9的第一进液口之间的管路。缓冲槽中的H3PO4通过管路自然冷却进入药液直供槽，再在药液直供槽进行再度控温，达到工艺温度。目前药液直供槽负责工艺温度在142℃，磷酸药液缓冲槽中的H3PO本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于磷酸机台温度控制的管路设备，其特征在于，该设备至少包括：具有进液口和出液口的第一缓冲槽；具有第一、第二进液口及出液口的直供槽；所述第一缓冲槽的进液口和出液口分别连接有管路；所述直供槽的第一进液口通过管路与所述第一缓冲槽的出液口连接；所述直供槽的出液口通过管路与其第二进液口连接构成主循环回路，该主循环回路的管路中连接有数个作业腔；所述作业腔连接有第一、第二开关阀；所述第一开关阀连接一排放口；设有进液口和出液口的回收槽；所述第二开关阀通过管路与所述回收槽的进液口连接；具有进液口和出液口的第二缓冲槽；所述回收槽的出液口通过管路与所述第二缓冲槽的进液口连接；所述第二缓冲槽的出液口连接于所述...

【技术特征摘要】
1.一种用于磷酸机台温度控制的管路设备，其特征在于，该设备至少包括：具有进液口和出液口的第一缓冲槽；具有第一、第二进液口及出液口的直供槽；所述第一缓冲槽的进液口和出液口分别连接有管路；所述直供槽的第一进液口通过管路与所述第一缓冲槽的出液口连接；所述直供槽的出液口通过管路与其第二进液口连接构成主循环回路，该主循环回路的管路中连接有数个作业腔；所述作业腔连接有第一、第二开关阀；所述第一开关阀连接一排放口；设有进液口和出液口的回收槽；所述第二开关阀通过管路与所述回收槽的进液口连接；具有进液口和出液口的第二缓冲槽；所述回收槽的出液口通过管路与所述第二缓冲槽的进液口连接；所述第二缓冲槽的出液口连接于所述第一缓冲槽的出液口与所述直供槽的第一进液口之间的管路；所述第二缓冲槽的出液口与所述直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。2.根据权利要求1所述的用于磷酸机台温度控制的管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯宇培，侯宗武，刘厥扬，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31