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本发明提供一种用于磷酸机台温度控制的管路设备，直供槽的第一进液口与第一缓冲槽的出液口连接；直供槽的出液口与其第二进液口连接构成主循环回路，该回路中连接有数个作业腔；作业腔连接有第一、第二开关阀；第一开关阀连接一排放口；第二开关阀与回收槽的进...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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