一种光刻机的刻板离心真空吸附装置制造方法及图纸

一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒，所述滚筒的中心轴线设有转轴，所述滚筒外表面设有气槽，还包括弹性气罩、固定杆、受力球，所述滚筒为中空结构，所述弹性气罩设于滚筒内部，且弹性气罩与转轴密封连接，所述固定杆穿过弹性气罩，且固定杆的一端与气槽固定连接，固定杆另一端与转轴固定连接，所述受力球滑动套设于固定杆表面并位于弹性气罩内，所述固定杆内设有气管且固定杆表面设有气孔，所述气孔位于弹性气罩内，所述气孔与气管连通，所述气管与气槽连通，所述气管的一端与气槽连通并通过气孔与气罩的内腔连通，结构简单，高效又节能，可有效降低使用成本。

A Stereotype Centrifugal Vacuum Adsorption Device for Photolithography

A stencil centrifugal vacuum adsorption device for photolithography machine includes a drum, the central axis of the drum is provided with a rotating shaft, the outer surface of the drum is provided with an air groove, and the outer surface of the drum is also provided with an elastic air cover, a fixed rod and a force ball. The drum is hollow structure, the elastic air cover is arranged inside the drum, and the elastic air cover is sealed with the rotating shaft, and the fixed rod passes through the elastic air cover, and the fixed rod is fixed. \u7684\u4e00\u7aef\u4e0e\u6c14\u69fd\u56fa\u5b9a\u8fde\u63a5\uff0c\u56fa\u5b9a\u6746\u53e6\u4e00\u7aef\u4e0e\u8f6c\u8f74\u56fa\u5b9a\u8fde\u63a5\uff0c\u6240\u8ff0\u53d7\u529b\u7403\u6ed1\u52a8\u5957\u8bbe\u4e8e\u56fa\u5b9a\u6746\u8868\u9762\u5e76\u4f4d\u4e8e\u5f39\u6027\u6c14\u7f69\u5185\uff0c\u6240\u8ff0\u56fa\u5b9a\u6746\u5185\u8bbe\u6709\u6c14\u7ba1\u4e14\u56fa\u5b9a\u6746\u8868\u9762\u8bbe\u6709\u6c14\u5b54\uff0c\u6240\u8ff0\u6c14\u5b54\u4f4d\u4e8e\u5f39\u6027\u6c14\u7f69\u5185\uff0c\u6240\u8ff0\u6c14\u5b54\u4e0e\u6c14\u7ba1\u8fde\u901a\uff0c\u6240\u8ff0\u6c14\u7ba1\u4e0e\u6c14\u69fd\u8fde\u901a\uff0c\u6240\u8ff0\u6c14\u7ba1\u7684\u4e00\u7aef\u4e0e\u6c14\u69fd\u8fde\u901a\u5e76\u901a The through-hole is connected with the inner chamber of the hood, which has simple structure, high efficiency and energy saving, and can effectively reduce the use cost.

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的刻板离心真空吸附装置
本技术涉及光刻机
，尤指一种光刻机的刻板离心真空吸附装置。
技术介绍
光刻机指采用光在刻板上制作一个图形的机器，通常是在刻板的表面均胶，然后将掩模版上的图形转移到光刻胶上的过程；在进行光刻的时候，光刻机内需要一种真空吸附装置将刻板进行固定；现有的真空吸附装置主要外置真空泵，真空泵通过管道和滚筒上的气槽相通，真空泵工作时，将气槽里的空气抽走形成一定的真空，以使滚筒吸附刻板达到固定刻板的目的；但是这种装置需要真空泵和管道配合使用，使得机器变得臃肿、凌乱、占用的空间较大，同时需要使用较大的功率的电机，消耗额外的电能，增加了使用成本。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，结构简单，高效又节能，可有效降低使用成本。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒，所述滚筒的中心轴线设有转轴，所述滚筒外表面设有气槽，还包括弹性气罩、固定杆、受力球，所述滚筒为中空结构，所述弹性气罩设于滚筒内部，且弹性气罩与转轴密封连接，所述固定杆穿过弹性气罩，且固定杆的一端与气槽固定连接，固定杆另一端与转轴固定连接，所述受力球滑动套设于固定杆表面并位于弹性气罩内，所述固定杆内设有气管且固定杆表面设有气孔，所述气孔位于弹性气罩内，所述气孔与气管连通，所述气管与气槽连通。具体地，所述固定杆沿着转轴圆周侧面均匀分布。具体地，所述固定杆沿着转轴轴线方向关于转轴中点对称分布。具体地，还包括连接杆，所述连接杆与对应的固定杆上的受力球固定连接。具体地，所述固定杆和气槽连接处设有单向气动阀。具体地，所述弹性气罩由橡胶材料制成。本技术的有益效果在于：在滚筒内设置弹性气罩，在滚筒静止时，弹性气罩在弹性收缩作用下，处于收缩状态，弹性气罩与气槽的空间体积收缩，相当于鱼鳔收缩，当进行光刻时，滚筒转动，受力球受到离心力作用，沿着固定杆向外移动，推动弹性气罩向外扩张，弹性气罩体积膨胀变大，类似于鱼鳔膨胀，弹性气罩的膨胀就会改变弹性气罩内腔的真空状态，使内腔的气压低于外部大气压，起到抽真空的效果，因为弹性气罩与气槽是连通的，所以弹性气罩的真空效果会传递到气槽中，使覆盖在气槽上的刻板紧密吸附在滚筒上，当光刻结束后，滚筒停止转动，弹性气罩在弹性作用下收缩，使内腔的气压与外部大气压相同，即可将刻板卸下，本技术不需要使用真空泵和管道，结构简单，充分利用滚筒的离心力，不需要额外消耗电能，高效又节能，可有效降低使用成本。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的爆炸图。图3是本技术的剖视图。图4是本技术的滚筒内局部示意图。附图标号说明：1、滚筒；2、弹性气罩；3.、转轴；4固定杆；5、受力球；6、连接杆；7、气槽；8、单向气动阀；9、气孔；10、气管。具体实施方式为了更清楚地表述本技术，下面结合附图对本技术作进一步地描述。请参阅图1-4所示，本技术关于一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒1，所述滚筒1的中心轴线设有转轴3，所述滚筒1外表面设有气槽7，还包括弹性气罩2、固定杆4、受力球5，所述滚筒1为中空结构，所述弹性气罩2设于滚筒1内部，且弹性气罩2与转轴3密封连接，所述固定杆4穿过弹性气罩2，且固定杆4的一端与气槽7固定连接，固定杆4另一端与转轴3固定连接，所述受力球5滑动套设于固定杆4表面并位于弹性气罩2内，所述固定杆4内设有气管10且固定杆4表面设有气孔9，所述气孔9位于弹性气罩2内，所述气孔9与气管10连通，所述气管10与气槽7连通。本技术的工作原理如下：在未进行光刻前，弹性气罩2在弹性收缩作用下，处于收缩状态，弹性气罩2与气槽7的空间体积收缩，相当于鱼鳔收缩，当进行光刻时，滚筒1转动，受力球5受到离心力作用，沿固定杆4向外移动，推动弹性气罩2向外扩张，弹性气罩2体积膨胀变大，类似于鱼鳔膨胀，弹性气罩2的膨胀就会改变弹性气罩2内腔的真空状态，使内腔的气压低于外部大气压，起到抽真空的效果，因为弹性气罩2与气槽7是连通的，所以弹性气罩2的真空效果会传递到气槽7中，使覆盖在气槽7上的刻板紧密吸附在滚筒1上，使刻板能够进行定位光刻，当光刻结束后，滚筒1停止转动，弹性气罩2在弹性作用下收缩，使内腔的气压与外部大气压相同，即可将光刻后的刻板卸下。请参阅图3-4所示，在本具体实施例中，所述固定杆4沿着转轴3圆周侧面均匀分布。采用上述方案，固定杆4沿着转轴3圆周侧面均匀分布，可以使转轴3转动时，受力更均衡，同时增加受力球5的数量，当受力球5受到离心力时推动弹性气罩2膨胀更大的体积，提高真空效果，使得滚筒1能将刻板更紧密吸附在其表面，且可以吸附更大的面积。请参阅图3-4所示，在本具体实施例中，所述固定杆4沿着转轴3轴线方向关于转轴3中点对称分布。采用上述方案，固定杆4沿着转轴3轴线方向关于转轴3中点对称分布，可以增加受力球5的数量，当受力球5受到离心力时推动弹性气罩2膨胀更大的体积，提高真空效果，使得滚筒1能将刻板更紧密吸附在其表面，且可以吸附更大的面积。请参阅图3-4所示，在本具体实施例中，还包括连接杆6，所述连接杆6与对应的固定杆4上的受力球5固定连接。采用上述方案，通过连接杆6将对应的受力球5固定连接，能加强受力球5的空间结构，使得受力球5在受到离心力滑动时更稳定，同时也能使滚筒1内部结构更稳固。请参阅图3所示，在本具体实施例中，所述固定杆4和气槽7连接处设有单向气动阀8。采用上述方案，在没有刻板装载到滚筒1上，或刻板因尺寸小没有覆盖某些气槽7时，单向气动阀8关闭，断开气槽7与弹性气罩2的连接，避免漏气，而被刻板覆盖的气槽7，单向气动阀8连通弹性气罩2，气槽7的真空状态和弹性气罩2同步变化，所以滚筒1转动时，弹性气罩2的真空效果传递到气槽7，气槽7就更紧密的吸附、固定刻板，使刻板在整个光刻工作过程中稳定地被光刻。在本具体实施例中，所述弹性气罩2由橡胶材料制成。采用上述方案，弹性气罩2采用收缩弹性范围很大的橡胶为原材料，可以使弹性气罩2更容易的收缩或膨胀，以快速改变弹性气罩2内腔的真空状态。以上实施方式仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本技术的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本技术的权利要求书确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒，所述滚筒的中心轴线设有转轴，所述滚筒外表面设有气槽，其特征在于：还包括弹性气罩、固定杆、受力球，所述滚筒为中空结构，所述弹性气罩设于滚筒内部，且弹性气罩与转轴密封连接，所述固定杆穿过弹性气罩，且固定杆的一端与气槽固定连接，固定杆另一端与转轴固定连接，所述受力球滑动套设于固定杆表面并位于弹性气罩内，所述固定杆内设有气管且固定杆表面设有气孔，所述气孔位于弹性气罩内，所述气孔与气管连通，所述气管与气槽连通。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒，所述滚筒的中心轴线设有转轴，所述滚筒外表面设有气槽，其特征在于：还包括弹性气罩、固定杆、受力球，所述滚筒为中空结构，所述弹性气罩设于滚筒内部，且弹性气罩与转轴密封连接，所述固定杆穿过弹性气罩，且固定杆的一端与气槽固定连接，固定杆另一端与转轴固定连接，所述受力球滑动套设于固定杆表面并位于弹性气罩内，所述固定杆内设有气管且固定杆表面设有气孔，所述气孔位于弹性气罩内，所述气孔与气管连通，所述气管与气槽连通。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泽明，郑天祥，黄文斌，邓超略，高尊虎，
申请(专利权)人：深圳市印之明科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44