图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备，属于光学成像领域。该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，用于改变第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，用于将入射至第三光线变换模块的光线平行射出，其中，第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。藉此，实现了调整平行入射的光线，实现图形补偿，扩大了图形补偿装置的应用范围。

Graphic Compensation Device, Graphic Compensation System, Exposure Machine and Color Film Processing Equipment

The embodiment of the utility model provides a graphics compensation device, a graphics compensation system, an exposure machine and a color film process equipment, belonging to the field of optical imaging. The graphics compensation device includes: a first light conversion module for changing the direction of light parallel to the first light conversion module; a second light conversion module for changing the direction of light outgoing from the first light conversion module; and a third light conversion module for parallel shooting of light incident to the third light conversion module, in which the third light conversion module is used for changing the direction of light outgoing from the first light conversion module. The pattern formed by the outgoing light of the block is enlarged or reduced relative to the pattern formed by the incident light of the first light conversion module, so as to realize the figure compensation. Accordingly, the parallel incident light is adjusted, the graphic compensation is realized, and the application range of the graphic compensation device is expanded.

【技术实现步骤摘要】
图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备
本技术涉及光学成像领域，具体地涉及图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备。
技术介绍
TFT-LCD彩膜工艺设备中的NSK曝光机仅有平面镜，或者通过驱动平面镜做不同程度的弯曲来达到调整平行光的目的。这种调整平行光的方式对平面镜的材质有一定的要求，不便于应用。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备，其可解决或至少部分解决上述问题。为了实现上述目的，本技术的一个方面提供一种图形补偿装置，该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。可选地，该图形补偿装置还包括：移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。

【技术特征摘要】
1.一种图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。2.根据权利要求1所述的图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置还包括：移动模块，与所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块连接；以及控制模块，与所述移动模块连接，用于通过所述移动模块控制所述第一光线变换模块、所述第二光线变换模块和所述第三光线变换模块中的至少一者在光线的传播方向上移动以改变所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，
申请(专利权)人：东旭昆山显示材料有限公司，东旭集团有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32