The utility model proposes a device for preventing the falling and damage of the optical mask, which includes a vertical slide frame of the photolithography machine, an infrared sensor, a sliding mechanism, a control unit and a connector. A sliding mechanism and an infrared sensor are installed on the vertical slide frame of the photolithography machine. When the optical mask passes through the vertical slide frame of the photolithography machine, an infrared sensor sensor sensor sensor is used to start the sliding mechanism, so that the receivers follow the sliding mechanism. The mechanism extends outward, so that it can effectively and safely take over the falling light shield and avoid the damage of the light shield. At the same time, through the timer built in the control unit, the length of time for the sliding mechanism to extend the connector can be set manually. When the timing time reaches, the connector can be retracted by the sliding mechanism to solve the problem of the damage of the hood.
【技术实现步骤摘要】
一种防止光罩掉落毁损的装置
本技术涉及光刻机领域,尤其涉及一种防止光罩掉落毁损的装置。
技术介绍
Nikoni11D型号的步进式光刻机,其光罩传送至交接处时,是通过抽真空的方式对光罩进行交接。若发生真空异常时,会使得光罩掉落并砸在光刻机的机台内部,使得机台内部部件被光罩砸损,同时光罩也会具有一定程度的毁损;同时光刻机的机台在此时,也无法进行初始化安全的将光罩移动回光罩盒,因此只能人为确定安全的情形下,手动将光罩从交接处取出,并放回光罩盒中。光罩的掉落会对机台的生产造成各项影响,对于光罩也会形成结构性的破坏,以及造成步进式光刻机的机台内部洁净度的污染。光罩的毁损,不仅造成机台无法运转,增加了生产成本,而且还会影响设备稳定性及生产效能,使机台运行陷入异常,影响产线的生产力。
技术实现思路
为此,需要提供一种防止光罩掉落毁损的装置,解决光罩掉落毁损的问题。为实现上述目的,专利技术人提供了一种防止光罩掉落毁损的装置,包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件;所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部,滑动机构设置在光刻机竖直滑架上,且滑动机构位于红外传感器的下方,红外传感器与控制单元电连接,承接件设置在滑动机构的输出端上,控制单元与滑动机构电连接,承接件用于承接并防护掉落的光罩;滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。进一步地,所述滑动机构包括驱动单元、滑架和电磁开关,驱动单元设置在光刻机竖直滑架上,承接件设置在滑架的滑杆上,驱动单元位于红外传感器的下方,滑架垂直设置在光刻机竖直滑架上,且光刻机竖直滑架位于红外传感 ...
【技术保护点】
1.一种防止光罩掉落毁损的装置,其特征在于:包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件;所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部,滑动机构设置在光刻机竖直滑架上,且滑动机构位于红外传感器的下方,红外传感器与控制单元电连接,承接件设置在滑动机构的输出端上,控制单元与滑动机构电连接,承接件用于承接并防护掉落的光罩;滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。
【技术特征摘要】
1.一种防止光罩掉落毁损的装置,其特征在于:包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件;所述红外传感器设置在光刻机竖直滑架的中部,滑动机构设置在光刻机竖直滑架上,且滑动机构位于红外传感器的下方,红外传感器与控制单元电连接,承接件设置在滑动机构的输出端上,控制单元与滑动机构电连接,承接件用于承接并防护掉落的光罩;滑动机构用于在光罩经过红外传感器的位置时将承接件垂直朝向光刻机竖直滑架的外部伸出。2.根据权利要求1所述的一种防止光罩掉落毁损的装置,其特征在于:所述滑动机构包括驱动单元、滑架和电磁开关,驱动单元设置在光刻机竖直滑架上,承接件设置在滑架的滑杆上,驱动单元位于红外传感器的下方,滑架垂直设置在...
【专利技术属性】
技术研发人员:林金锡,许哲维,
申请(专利权)人:福建省福联集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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