温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提一种防止光罩掉落毁损的装置，包括光刻机竖直滑架、红外传感器、滑动机构、控制单元和承接件，在光刻机竖直滑架上安装滑动机构和红外传感器，当光罩通过光刻机的竖直滑架时，会通过红外传感器感应器，进而启动滑动机构，使得承接件跟随滑动机构朝...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。