The utility model discloses an automatic exposure machine. The fully automatic exposure machine includes an exposure table; a mobile platform, the mobile platform is located on the exposure table, and the mobile platform is provided with a positioning pin for PCB positioning; a first pairing device, the first pairing device includes a first scanning device for scanning the hole position in the PCB on one side of the feed end of the exposure table, and a mobile platform for adjusting the position of the PCB. The first control device for position, the first scanning device and the first control device are electrically connected; the second counterpart device includes a second scanning device for scanning the peripheral hole of the circuit board above the exposure table and a second control device for adjusting the position of the exposure glass, and the second scanning device is electrically connected with the second control device. The fully automatic exposure machine provided by the utility model can effectively avoid the problems of exposure deviation hole and refusal of exposure, and improve the positioning accuracy of single and double panels.
【技术实现步骤摘要】
一种全自动曝光机
本技术涉及线路生产制作
,特别涉及一种全自动曝光机,尤其涉及一种能改善对位精度的全自动曝光机。
技术介绍
曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。随着近年自动化需求的提升,手动曝光机逐渐被全自动曝光机取代,传统的曝光机的手动对位方式也无法满足自动化生产的要求。目前业内的曝光机对位的方法是将线路板传送至曝光台面固定位置上,通过CCD抓取板内外围四个大孔,分析后调整粘有菲林的曝光玻璃的位置,使菲林对准外围孔后进行曝光。此种方法多应用于多层线路板,由于有裁磨流程,板边规则整齐,而且每块板外围孔离板边距离一致,不会存在拒曝、对位偏孔等问题。然而,单双面板的定位孔位置由钻孔操作员自己选取,会存在每块板的外围孔离板边距离不一致的问题,若单双面板同样采用多层线路板的对位方式,会造成大量拒曝,曝光偏孔的问题。鉴于此,有必要提供一种新的曝光对位方式解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述技术问题,提供一种可提高单双面板定位精度的全自动曝光机,可有效避免曝光偏孔和拒曝等问题。为解决上述技术问题,本技术的技术方案如下:一种全自动曝光机,包括:曝光台面,所述曝光台面上方设有曝光玻璃;移动平台,所述移动平 ...
【技术保护点】
1.一种全自动曝光机,其特征在于,包括:曝光台面,所述曝光台面上方设有曝光玻璃;移动平台,所述移动平台设于所述曝光台面,且所述移动平台上设有用于线路板定位的定位销;第一对位装置,所述第一对位装置包括设于所述曝光台面进料端一侧用于扫描线路板内孔位的第一扫描装置,及用于调整所述移动平台位置的第一控制装置,所述第一扫描装置与所述第一控制装置电连接;第二对位装置,所述第二对位装置包括设于所述曝光台面上方用于扫描线路板外围孔的第二扫描装置及用于调整所述曝光玻璃位置的第二控制装置,所述第二扫描装置与所述第二控制装置电连接。
【技术特征摘要】
1.一种全自动曝光机,其特征在于,包括:曝光台面,所述曝光台面上方设有曝光玻璃;移动平台,所述移动平台设于所述曝光台面,且所述移动平台上设有用于线路板定位的定位销;第一对位装置,所述第一对位装置包括设于所述曝光台面进料端一侧用于扫描线路板内孔位的第一扫描装置,及用于调整所述移动平台位置的第一控制装置,所述第一扫描装置与所述第一控制装置电连接;第二对位装置,所述第二对位装置包括设于所述曝光台面上方用于扫描线路板外围孔的第二扫描装置及用于调整所述曝光玻...
【专利技术属性】
技术研发人员:王雷,卢根平,董猛,刘文日,杨振川,
申请(专利权)人:江西旭昇电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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