The utility model relates to the technical field of chip production, in particular to a wafer oven automatic door, which comprises a door body, a magnetic lock, a push-door cylinder and a controller. The magnetic lock and the push-door cylinder are respectively connected with the controller. The controller can connect the oven system and receive the electric signal of the oven system, thereby controlling the magnetic lock and the push-door cylinder. The wafer oven automatic door, when the oven baking process is finished, the controller receives the information of the end of the baking process and disconnects the magnetic lock, and controls the push door cylinder to push the door body open, and the oven begins to cool down, so as to avoid over-baking, which greatly increases the qualified rate of the product.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆烘箱自动门
本技术涉及芯片生产
,特别是一种晶圆烘箱自动门。
技术介绍
单晶硅圆片由普通硅砂提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅,多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。晶圆是当前半导体组件的基础半成品,在生产晶圆的过程中,时常需要将晶圆置入烘烤装置,通过烘箱的适当温度来将晶圆的光刻胶体等等,进行物理性或化学性的转变,例如热固化等等。普通厌氧性烘箱设有烘箱系统,可预设置烘烤时间,控制烘箱内升温和烘烤风扇的转动,烘烤结束时风扇停止转动,烘箱系统起动报警装置报警,工作人员发现烘箱报警后手动将烘箱门打开取出晶圆产品,但是该烘箱无主动降温功能,自动降温速度缓慢,烘烤的产品如果取出不及时会导致实际烘烤时间增加,从而导致产品质量异常。上述烘箱的烘箱门是机械门锁,烘烤结束后必须手动将门打开。晶圆产品对烘烤时间的长短比较敏感,由于烘箱无主动降温功能,在封闭空间内降温缓慢。在实际操作中会出现如下情况:1、烘箱报警后作业人员处理不及时,导致产品过烘;2、烘箱报警后,被误消除了报警,长时间才发现产品未取出,导致产品严重过烘。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于:针对现有技术存在烘箱在烘烤结束后必须手动开门给晶圆产品降温的问题,提供一种晶圆烘箱自动门,该晶圆烘箱自动门在烘烤结束后自动打开烘箱门给晶圆产品降温,避免出现过烘的情况,大大的增加了产品的合格率。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案为:一种晶圆烘箱自动门,包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器,所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连,所述控制器 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆烘箱自动门,其特征在于,包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器,所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连,所述控制器能够连接烘箱系统,且接受烘箱系统的电信号,从而控制所述磁力锁和推门气缸。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘箱自动门,其特征在于,包括门体、磁力锁、推门气缸和控制器,所述磁力锁和推门气缸分别与控制器相连,所述控制器能够连接烘箱系统,且接受烘箱系统的电信号,从而控制所述磁力锁和推门气缸。2.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门,其特征在于,所述烘箱自动门还设有开门按钮,所述开门按钮与控制器相连,使得开门按钮能够控制磁力锁短时间断开。3.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门,其特征在于,所述磁力锁与控制器之间还连有继电器,该继电器用于控制磁力锁电路的通断。4.根据权利要求1所述的晶圆烘箱自动门,其特征在于,所述控制器还连有用于控制推门气缸回退的行程开关。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘剑,侯华,
申请(专利权)人:成都先进功率半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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