检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置制造方法及图纸

技术编号:20835357 阅读:20 留言:0更新日期:2019-04-13 08:07
本发明专利技术揭示了一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置,检测模块用于检测传输带的偏移,检测模块包括极板,极板与传输带之间形成电容,检测模块根据电容值的变化量获取传输带的偏移量。本发明专利技术的检测模块利用电容检测可以实现对传输带偏移量的实时监控,避免因传输带偏移而对产品质量造成不良影响。

【技术实现步骤摘要】
检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置
本专利技术涉及检测
,尤其涉及一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置。
技术介绍
环形高速电镀线是一种对集成电路产品实现电镀加工的设备。参图1,环形高速电镀线包括用于承载并输送集成电路产品的钢带1,钢带1在驱动轮2的驱动下运转而携带集成电路产品经过多个工位完成电镀加工。实际操作中,由于机械零件受到磨损、侵蚀等影响,例如传输钢带1与导向轮3、电镀电极4等周边相关零件的配合状况变差,会导致钢带1运行时在钢带1的法向X上产生位移甚至变形,无法稳定可靠运行,影响产品质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置。为实现上述专利技术目的之一,本专利技术一实施方式提供一种检测模块,用于检测传输带的偏移,所述检测模块包括极板,所述极板与所述传输带之间形成电容,所述检测模块根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述检测模块包括传感单元,所述传感单元用于获取表征所述传输带偏移量的反馈信号,所述传感单元包括位于传输带相对两侧的第一极板及第二极板,所述第一极板与所述传输带之间形成第一电容,所述第二极板与所述传输带之间形成第二电容,所述传输带朝向所述第一极板或所述第二极板的偏移量满足公式Δd=(C1-C2)*k*d/C,其中,Δd为所述传输带的偏移量,C1为第一电容,C2为第二电容,k为检测灵敏度,d为所述第一极板与所述第二极板之间的间距,C为所述第一极板与所述第二极板之间的电容。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述检测模块还包括转换单元,所述转换单元用于将所述反馈信号转换成电压信号。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述检测模块还包括处理单元及提示单元,所述处理单元用于比较所述反馈信号及设定值,且当所述反馈信号超过所述设定值时,所述提示单元提示异常。为实现上述专利技术目的之一,本专利技术一实施方式提供一种检测方法,用于检测传输带的偏移,包括步骤:获取极板与传输带之间形成的电容的电容值的变化量;根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述传输带位于相对设置的第一极板及第二极板之间,所述方法具体包括步骤:获取传输带与第一极板之间的第一电容及传输带与第二极板之间的第二电容;获取表征传输带偏移量的反馈信号,所述传输带朝向所述第一极板或所述第二极板的偏移量满足公式Δd=(C1-C2)*k*d/C获取传输带的偏移量,其中,Δd为所述传输带的偏移量,C1为第一电容,C2为第二电容,k为检测灵敏度,d为所述第一极板与所述第二极板之间的间距,C为所述第一极板与所述第二极板之间的电容。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述方法还包括步骤:将反馈信号转换为电压信号;比较所述电压信号及设定值,且当所述电压信号超过所述设定值时,提示异常。为实现上述专利技术目的之一,本专利技术一实施方式提供一种传输装置,包括传输带及如上任意一项技术方案所述的检测模块。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述传输带为钢带。作为本专利技术一实施方式的进一步改进,所述传输装置还包括电镀模块,所述钢带用于传输集成电路产品,所述电镀模块用于配合所述钢带电镀所述集成电路产品。与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:本专利技术一实施方式的检测模块利用电容检测可以实现对传输带偏移量的实时监控,避免因传输带偏移而对产品质量造成不良影响。附图说明图1是现有技术中环形高速电镀线示意图;图2是本专利技术一实施方式的检测模块与传输带的配合侧视图;图3是本专利技术一实施方式的检测模块与传输带的配合立体图;图4是本专利技术一实施方式的检测模块示意框图;图5是本专利技术一实施方式的转换单元示意框图;图6是本专利技术一实施方式的提示单元示意图;图7是本专利技术一实施方式的检测模块示意图;图8是本专利技术一实施方式的检测方法步骤图。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述。但这些实施方式并不限制本专利技术,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。在本专利技术的各个图示中,为了便于图示,结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大,因此,仅用于图示本专利技术的主题的基本结构。另外,本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位,例如,如果将图中的设备翻转,则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”,因此,示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位,设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向),并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。结合图2,为本专利技术一实施方式的检测模块100与传输带200配合的示意图,检测模块100用于检测传输带200的偏移。检测模块100包括极板,极板与传输带200之间形成电容,检测模块100根据电容值的变化量获取传输带200的偏移量。本实施方式的检测模块100利用电容检测可以实现对传输带200偏移量的实时监控,避免因传输带200偏移而对产品质量造成不良影响。在一具体示例中,结合图3及图4,检测模块100包括传感单元10,传感单元10用于获取表征传输带200偏移量的反馈信号。传感单元10包括位于传输带200相对两侧的第一极板11及第二极板12。第一极板11与传输带200之间形成第一电容C1,第二极板12与传输带200之间形成第二电容C2,也就是说,此时的第一极板11、第二极板12及传输带200形成差动电容组。这里,第一极板11与第二极板12面对面设置,且第一极板11与第二极板12相互平行,第一极板11与第二极板12均固定设置而使得两者的相对位置保持不变。传输带200为金属带,或者,传输带200的部分区域设置金属而使得传输带200与极板之间可以形成电容。传输带200位于第一极板11与第二极板12之间,且传输带200的行进方向Y平行于第一极板11/第二极板12,此时,当传输带200与周边相关零部件配合状况变差或其他因素发生时,传输带200会发生位移或变形等,即传输带200与第一极板11/第二极板12之间的距离会发生变化,进而会导致第一电容C1、第二电容C2的电容值发生变化。在本实施方式中,传输带200朝向第一极板11或第二极板12的偏移量满足公式Δd=(C1-C2)*k*d/C,其中,Δd为传输带200的偏移量,C1为第一电容,C2为第二电容,k为检测灵敏度,d为第一极板11与第二极板12之间的间距,C为第一极板11与第二极板12之间的电容。需要说明的是,检测灵敏度k与极板(11、12)与传输带200之间的间距、极板、传输带材质等因素有关,也就是说,检测灵敏度k对应传感单元10的检测误差,Δd≈(C1-C2)*d/C。较佳的,传输带200居中设置于第一极板11及第二极板12之间,即当传输带200不发生位移或变形时,传输带200与第一极板11之间的第一距离等于传输带200与第二极板12之间的第二距离,第一电容C1等于第二电容C2,当传输带200发生位移或变形时,第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测模块,用于检测传输带的偏移,其特征在于,所述检测模块包括极板,所述极板与所述传输带之间形成电容,所述检测模块根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。

【技术特征摘要】
1.一种检测模块,用于检测传输带的偏移,其特征在于,所述检测模块包括极板,所述极板与所述传输带之间形成电容,所述检测模块根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。2.根据权利要求1所述的检测模块,其特征在于,所述检测模块包括传感单元,所述传感单元用于获取表征所述传输带偏移量的反馈信号,所述传感单元包括位于传输带相对两侧的第一极板及第二极板,所述第一极板与所述传输带之间形成第一电容,所述第二极板与所述传输带之间形成第二电容,所述传输带朝向所述第一极板或所述第二极板的偏移量满足公式Δd=(C1-C2)*k*d/C,其中,Δd为所述传输带的偏移量,C1为第一电容,C2为第二电容,k为检测灵敏度,d为所述第一极板与所述第二极板之间的间距,C为所述第一极板与所述第二极板之间的电容。3.根据权利要求2所述的检测模块,其特征在于,所述检测模块还包括转换单元,所述转换单元用于将所述反馈信号转换成电压信号。4.根据权利要求2所述的检测模块,其特征在于,所述检测模块还包括处理单元及提示单元,所述处理单元用于比较所述反馈信号及设定值,且当所述反馈信号超过所述设定值时,所述提示单元提示异常。5.一种检测方法,用于检测传输带的偏移,其特征在于,包括步骤:...

【专利技术属性】
技术研发人员:石巍
申请(专利权)人:江苏长电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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