蒸镀设备制造技术

本发明专利技术是关于一种蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域。主要采用的技术方案为：蒸镀设备，其包括：负载螺线圈、变频供电装置以及温控装置；所述主体中设置有蒸镀坩埚，用于容纳金属源；所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。本发明专利技术提供的蒸镀设备，其在加热工作时能够避免热量的损失，避免能源的浪费，且直接对蒸镀坩埚中的全部金属源加热，有效解决了电阻加热产生的温度梯度问题，使金属源的受热更均匀，提高了蒸镀的效果。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备
本专利技术涉及蒸镀
，特别是涉及一种蒸镀设备。
技术介绍
铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等显著特点，成为太阳能电池研发的重点。铜铟镓硒太阳能电池在生产的过程中，需要在基板上蒸镀铜铟镓硒层作为吸光层，即使用蒸镀设备将铜铟镓硒材料通过蒸镀的方式镀在基板上。具体的是通过电阻对设备中的蒸镀坩埚加热，使蒸镀坩埚中的铜铟镓硒材料蒸发进行镀制。但是，在使用电阻对蒸镀坩埚加热时，电阻是多个方向散热的，不仅对蒸镀坩埚加热，同时还对蒸镀坩埚周围的环境加热，即使用电阻对蒸镀坩埚加热的方式热损失较大，浪费能源。且由于热传导的方向性，导致电阻对蒸镀坩埚加热时，使蒸镀坩埚从外到内产生温度梯度，热量利用率低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种蒸镀设备，使其能够解决蒸镀过程中的热损失过大的技术问题，以及解决蒸镀坩埚加热金属源时产生的温度梯度问题。依据专利技术提供了一种蒸镀设备，其包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；变频供电装置，所述变频供电装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，其包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；变频供电装置，所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；温控装置，所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，其包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚用于容纳金属源；负载螺线圈，所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；变频供电装置，所述变频供电装置与所述负载螺线圈连接，用于为所述负载螺线圈提供电流和电压；温控装置，所述温控装置与所述变频供电装置连接，用于检测所述蒸镀坩埚的温度，并根据所述温度控制所述变频供电装置的输出。2.根据权利要求1中所述蒸镀设备，其特征在于，所述变频供电装置包括依次连接的高频电源、石英晶体谐振器及谐振电容，所述谐振电容与所述负载螺线圈连接；其中，所述高频电源的输出端与所述石英晶体谐振器的输入端连接，所述石英晶体谐振器的输出端与所述谐振电容的输入端连接，所述谐振电容的输出端与所述负载螺线圈连接。3.根据权利要求2中所述蒸镀设备，其特征在于，所述高频电源的功率为1-10kW，所述高频电源的输出频率为5-100kHz。4.根据权利要求2中所述蒸镀设备，其特征在于，所述温控装置包括脉冲宽度调制器、控制器以及温度传感器，所述控制器分别与所述脉冲宽度调制器和所述温度传感器连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐义，岳志远，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11