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本发明是关于一种蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域。主要采用的技术方案为：蒸镀设备，其包括：负载螺线圈、变频供电装置以及温控装置；所述主体中设置有蒸镀坩埚，用于容纳金属源；所述负载螺线圈的中部设置有容纳空间，所述蒸镀坩埚设置在所述容纳空间中；所述变...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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