一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备，属于光通信用元器件技术领域。其包括分水法兰、通水柱以及上法兰；分水法兰的中部开设有安装通孔，通水柱的一端连接于安装通孔，另一端连接于上法兰；分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设有多个第二连接孔。该离子溅射镀膜设备具有上述的靶材悬挂机构，使得加工件表面膜厚均一性好且良品率高。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备
本技术涉及光通信用元器件
，尤其涉及一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备。
技术介绍
离子束溅射镀膜设备，是生产光通信用元器件波分复用滤光片所需的必要设备，此设备结构中，作为核心布局的靶材悬挂机构，通常采用如下布局：其主要结构包括靶材悬挂机构、离子源、待加工产品(圆形)以及膜厚补正装置；其中靶材悬挂机构的靶中心与离子源距离260mm～280mm，此为关键距离。离子束溅射原理简述：由离子源产生离子束流后，高能量的离子束流撞击靶材，将靶材粒子溅射至待加工产品表面，形成镀膜膜层。现有靶材悬挂机构的缺点主要体现在待加工产品表面膜厚均匀性差导致良品率低。
技术实现思路
本技术的目的之一在于提供一种靶材悬挂机构，此靶材悬挂机构旨在解决现有技术中靶材悬挂机构操作不便捷的问题；本技术的另一目的在于提供一种离子溅射镀膜设备，此离子溅射镀膜设备旨在解决现有技术中靶材悬挂机构操作不便捷的问题。为实现上述目的，本技术的技术方案是：一种靶材悬挂机构，所述靶材悬挂机构包括分水法兰、通水柱以及上法兰；所述分水法兰的中部开设有安装通孔，所述通水柱的一端连接于所述安装通孔，另一端连接于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材悬挂机构，其特征在于：所述靶材悬挂机构包括分水法兰、通水柱以及上法兰；所述分水法兰的中部开设有安装通孔，所述通水柱的一端连接于所述安装通孔，另一端连接于所述上法兰；所述分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设有多个第二连接孔。

【技术特征摘要】
1.一种靶材悬挂机构，其特征在于：所述靶材悬挂机构包括分水法兰、通水柱以及上法兰；所述分水法兰的中部开设有安装通孔，所述通水柱的一端连接于所述安装通孔，另一端连接于所述上法兰；所述分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设有多个第二连接孔。2.根据权利要求1所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述分水法兰内安装有第一冷却水循环管道，所述通水柱内安装有与所述第一冷却水循环管道连接的第二冷却水循环管道。3.根据权利要求1所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述分水法兰的一端上设置有第一连接槽，多个所述第一连接孔沿所述第一连接槽的周向分布，多个所述第一连接孔之间的间距相同。4.根据权利要求3所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述第一连接槽中安装有第一无氧铜垫片。5.根据权利要求1所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述分水法兰的另一端上设置有第二连接槽，多个所述第二连接孔沿所述第二连接槽的周向分布，多个所述第二连接孔之间的间距相同。6.根据权利要求5所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述第二连接槽中安装有第二无氧铜垫片。7.根据权利要求1所述的靶材悬挂机构，其特征在于：所述通水柱的一端采用水密或者气密的焊接方式连...

【专利技术属性】
技术研发人员：周予坤，王安平，
申请(专利权)人：苏州浩联光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32