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本实用新型提供一种靶材悬挂机构及离子溅射镀膜设备，属于光通信用元器件技术领域。其包括分水法兰、通水柱以及上法兰；分水法兰的中部开设有安装通孔，通水柱的一端连接于安装通孔，另一端连接于上法兰；分水法兰的一端上开设有多个第一连接孔，另一端上开设...
该专利属于苏州浩联光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州浩联光电科技有限公司授权不得商用。

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